[发明专利]非再生型离子交换树脂装置的微粒穿透时间的预测方法及其管理方法

说明书

本发明提供一种非再生型离子交换树脂装置的微粒穿透时间的预测方法，其中，非再生型离子交换树脂装置(25)的被处理水(W1)的一部分，分别通向与该非再生型离子交换树脂装置(25)并联设置的第一路径(31)、第二路径(32)、第二路径(33)，所述第一路径(31)具备第一微粒计(34)，所述第二路径(32)具备第一小型树脂柱(35)、第二微粒计(36)、流量调节阀(37)和第一流量计(38)，所述第二路径(33)具备第二小型树脂柱(39)、第三微粒计(40)、流量调节阀(41)和第二流量计(42)。

技术领域

本发明涉及一种预测非再生型离子交换树脂装置的微粒穿透时间的方法以及基于该预测的微粒穿透时间管理非再生型离子交换树脂装置的方法。

背景技术

在需要高纯度的纯水或超纯水的液晶/半导体等电子工业领域中，在一次纯水制造装置的末尾或在二次纯水制造装置中，为了除去极微量的离子大多设置非再生型离子交换树脂装置。作为非再生型离子交换树脂装置，大多使用混床式离子交换树脂装置，还使用单床式或复床式的离子交换树脂装置。

由于非再生型离子交换树脂装置设置在使用点的前段，因此存在万一从非再生型离子交换树脂装置发生离子泄露，生产设备的操作可能被停止的风险。因此，以往会稍早进行非再生型离子交换树脂装置的交换，难以最大限度地利用非再生型离子交换树脂装置的离子交换能力。

作为其对策，在专利文献1中记载了预测离子交换装置的交换时期的方法，其中，由于一次纯水中的TOC在二次纯水制造装置中的离子交换装置的前段在紫外线氧化装置中分解为碳酸，因此非再生型离子交换装置的离子负载的大部分可视为碳酸，连续监控离子交换装置的碳酸负载量，根据预先设定的离子交换装置的碳酸交换容量和该碳酸负载量预测离子交换装置的交换时期。

另外，在专利文献2中公开了预测非再生型离子交换树脂装置的离子穿透时间的方法，其中，将在比非再生型离子交换树脂装置的柱更小型的柱内填充了与该离子交换树脂相同的离子交换树脂的小型树脂柱与该非再生型离子交换树脂装置并联设置，向该小型树脂柱中通入与向该非再生型离子交换树脂装置中通入的被处理水相同的被处理水，基于该小型树脂柱的处理水数据预测非再生型离子交换树脂装置的离子穿透时间。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-101761号公报。

专利文献2：日本特开2012-154634号公报。

发明内容

发明要解决的课题

但是，在上述专利文献1和专利文献2中记载的预测非再生型离子交换树脂装置的交换时期的方法，均是基于来自非再生型离子交换树脂装置的离子来推算其穿透时间，但是由于不仅离子会穿透非再生型离子交换树脂装置而且微粒也会穿透，因此即使是微粒泄露到使用点也存在停止生产设备操作的风险，以往没有预测来自非再生型离子交换树脂装置的微粒穿透时间的方法。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的是提供一种预测非再生型离子交换树脂装置的微粒穿透时间的方法、以及基于使用该方法预测的微粒穿透时间来管理纯水制造装置中设置的非再生型离子交换树脂装置的方法。

用于解决课题的手段

为达成上述目的，首先本发明提供一种非再生型离子交换树脂装置的微粒穿透时间的预测方法，其是在柱内填充了离子交换的非再生型离子交换树脂装置的微粒穿透时间的预测方法，其中，测定所述非再生型离子交换树脂装置的流入水的微粒数，向在比该非再生型离子交换树脂装置的柱更小型的柱内填充了与该离子交换树脂相同的离子交换树脂的小型树脂柱中通入已知微粒数的被处理水并测定该小型树脂柱的出口水的微粒数，基于测定的所述非再生型离子交换树脂装置的流入水的微粒数和测定的所述小型树脂柱的出口水的微粒数，预测所述非再生型离子交换树脂装置的微粒穿透时间(发明1)。