[发明专利]角速度传感器以及传感器元件

权利要求书

1.一种角速度传感器，具有：

传感器元件；和

安装基体，支承所述传感器元件，

所述传感器元件具有：

压电体，具有在正交坐标系xyz的x轴方向相互分离的位置在y轴方向相互并列地延伸的至少两根驱动臂、以及在y轴方向延伸的检测臂；

多个激励电极，以在x轴方向通过相互相反的相位来激励所述两根驱动臂的配置以及连接关系，位于所述两根驱动臂；和

多个检测电极，以取出通过所述检测臂的x轴方向或者z轴方向的振动而产生的信号的配置，位于所述检测臂，

所述压电体在所述z轴方向观察，还具有：

框部，构成开口，且作为所述开口的周围的一部分而包含将x轴方向作为长度方向的基部、和隔着所述开口而位于与所述基部相反的一侧的对置部；

保持部，从所述对置部向所述开口的外侧延伸并支承所述框部；和

支承部，连结于所述保持部的与所述对置部侧相反的一侧，被所述安装基体支承，

所述两根驱动臂从所述对置部之中的、相对于所述对置部与所述保持部的连结位置而位于x轴方向的两侧的部分延伸，

所述检测臂从所述基部延伸。

2.一种角速度传感器，具有：

传感器元件；和

安装基体，支承所述传感器元件，

所述传感器元件具有：

压电体，具有在正交坐标系xyz的x轴方向相互分离的位置在y轴方向相互并列地延伸的至少两根驱动臂、以及在y轴方向延伸的检测臂；

多个激励电极，以在x轴方向通过相互相反的相位来激励所述两根驱动臂的配置以及连接关系，位于所述两根驱动臂；和

多个检测电极，以取出通过所述检测臂的x轴方向或者z轴方向的振动而产生的信号的配置，位于所述检测臂，

所述压电体在所述z轴方向观察，还具有：

框部，构成开口，且作为所述开口的周围的一部分而包含将x轴方向作为长度方向的基部、和隔着所述开口而位于与所述基部相反的一侧的对置部；

保持部，从所述对置部向所述开口的外侧延伸并支承所述框部；和

支承部，连结于所述保持部的与所述对置部侧相反的一侧，被所述安装基体支承，

所述两根驱动臂从所述基部延伸，

所述检测臂在所述两根驱动臂之间从所述基部延伸。

3.根据权利要求1或者2所述的角速度传感器，其中，

所述框部通过所述保持部被一点支承。

4.根据权利要求1至3的任意一项所述的角速度传感器，其中，

所述两根驱动臂向所述开口内延伸，

所述检测臂向所述开口内延伸。

5.根据权利要求4所述的角速度传感器，其中，

驱动臂以及检测臂的全部向所述开口内延伸。

6.根据权利要求1至5的任意一项所述的角速度传感器，其中，

所述压电体具有分别包含所述保持部、所述框部、所述两根驱动臂以及所述检测臂的两个单元，

所述两个单元使所述保持部从所述框部延伸的一侧相互面对。

7.根据权利要求2所述的角速度传感器，其中，

所述压电体还具有：

第2驱动臂，从所述对置部在y轴方向延伸；和

第2检测臂，从所述对置部在y轴方向延伸，

所述传感器元件具有：

多个第2激励电极，以在x轴方向激励所述第2驱动臂的配置，位于所述第2驱动臂；和

多个第2检测电极，以取出通过所述第2检测臂的z轴方向的振动而产生的信号的配置，位于所述第2检测臂。