[发明专利]光软化性树脂组合物、光软化性树脂组合物的软化物的制造方法、固化性树脂组合物及其固化物、以及图案膜及其制造方法在审
申请号: | 202080041052.7 | 申请日: | 2020-04-07 |
公开(公告)号: | CN113906090A | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 宫本祐树;龟井淳一;大崎博司;齐藤晃一;熊木尚 | 申请(专利权)人: | 昭和电工材料株式会社 |
主分类号: | C08K5/00 | 分类号: | C08K5/00;C08L101/02;C08J7/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 白丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 软化 树脂 组合 制造 方法 固化 及其 以及 图案 | ||
1.一种光软化性树脂组合物,其含有:
具有双硫键的化合物;及
自由基捕获剂。
2.根据权利要求1所述的光软化性树脂组合物,其中,
所述具有双硫键的化合物是共聚物,所述共聚物包含:具有双硫键且具有官能基的单体单元;及具有能够与所述官能基进行反应的取代基的单体单元。
3.根据权利要求1或2所述的光软化性树脂组合物,其还含有敏化剂。
4.一种光软化性树脂组合物的软化物的制造方法,其包括以下步骤:
将权利要求1至3中任一项所述的光软化性树脂组合物进行光照射来获得所述光软化性树脂组合物的软化物。
5.一种固化性树脂组合物,其含有:
具有双硫键且具有官能基的单体;
具有能够与所述官能基进行反应的取代基的单体;及
自由基捕获剂。
6.根据权利要求5所述的固化性树脂组合物,其还含有固化催化剂。
7.根据权利要求5或6所述的固化性树脂组合物,其还含有敏化剂。
8.一种固化性树脂组合物的固化物,所述固化性树脂组合物是权利要求5至7中任一项所述的固化性树脂组合物。
9.一种图案膜,其具有图案,并且包含权利要求1至3中任一项所述的光软化性树脂组合物或权利要求8所述的固化性树脂组合物的固化物。
10.一种图案膜的制造方法,其包括以下步骤:
图案化步骤,其通过对权利要求1至3中任一项所述的光软化性树脂组合物或权利要求8所述的固化性树脂组合物的固化物的至少一部分进行光照射来进行图案化;及
显影步骤,其将经图案化的所述光软化性树脂组合物或所述固化性树脂组合物的固化物进行显影。
11.根据权利要求10所述的图案膜的制造方法,其中,
所述显影步骤包含通过水洗来进行显影的步骤。
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