[发明专利]用于激光加工工件的加工设备和激光加工工件的方法

权利要求书

1.一种加工设备，所述加工设备用于在加工区(13)中对工件(12)进行激光加工、特别地用于对所述工件(12)进行激光切割，所述加工设备特别地为激光加工头，所述加工设备具有：

第一接口(14)，所述第一接口(14)用于加工激光源，所述加工激光源用于产生加工激光束(15)，

第二接口(16)，所述第二接口(16)用于检测器装置，所述检测器装置用于检测由所述加工区发出的辐射(17)；

出口开口(18)，所述出口开口(18)用于所述加工激光束；以及

第一激光束导引装置(20)和第二激光束导引装置(22)，其中，所述第一激光束导引装置(20，20a，20b)布置并设计成使得所述第一激光束导引装置(20，20a，20b)将所述加工激光束导引至所述第二激光束导引装置并且动态地移动所述加工激光束、特别地动态地成形所述加工激光束，以及

所述第二激光束导引装置(22)布置并设计成使得所述第二激光束导引装置(22)将动态地移动的所述加工激光束导引穿过所述出口开口并且将由所述加工区发出的穿过所述出口开口的所述辐射至少部分地导引至所述第二接口。

2.根据权利要求1所述的加工设备，

其中，所述第二接口连接至检测器装置(24)或设置有检测器装置(24)，所述检测器装置(24)用于检测由所述加工区发出的穿过所述出口开口的至少部分所述辐射；以及/或者

其中，所述第一激光束导引装置和/或所述第二激光束导引装置设计成使得所述加工激光束被偏转。

3.根据权利要求1或2所述的加工设备，其中，所述第一激光束导引装置(20)具有至少一个用于所述加工激光束的偏转装置(20a；30；40；50；52)，所述偏转装置(20a；30；40；50；52)借助于至少一个运动单元(20b；32a；32b；32c)能够至少部分地动态移动。

4.根据权利要求3所述的加工设备，

其中，所述偏转装置具有至少一个可动态定向的镜(30)。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的加工设备，

其中，所述第一激光束导引装置具有至少一个检流计扫描器(40)，以及/或者其中，所述偏转装置设计为检流计扫描器(40)。

6.根据权利要求3所述的加工设备，

其中，所述偏转装置具有至少一个分段镜(50)，所述分段镜(50)具有多个镜区段，所述镜区段中的每个镜区段均能够动态地定向。

7.根据权利要求3所述的加工设备，

其中，所述偏转装置具有至少一个可动态变形的镜(52)。

8.根据权利要求7所述的加工设备，

其中，所述偏转装置具有选自下述项中的至少一个元件：使用至少一个压电致动器的可变形镜、可变形双压电晶片镜、基于MEMS或MOEMS的可变形镜和基于振荡线圈的可变形镜。

9.根据权利要求3和4中的任一项所述的加工设备，

其中，所述偏转装置具有至少一个镜(30)，所述镜(30)能够绕与所述镜的反射平面形成角度的轴线旋转，并且所述镜(30)能够定向成使得所述角度大于或小于90°。

10.根据权利要求1或2中的任一项所述的加工设备，

其中，所述第一激光束导引装置(20)具有至少一个光学单元(70)、特别是折射光学单元和/或离轴抛物面镜，所述光学单元(70)借助于至少一个运动单元(71)、特别是借助于能够动态移动的激光纤维端部单元能够至少部分地动态移动，并且所述第一激光束导引装置(20)可选地具有至少一个用于所述加工激光束的、不能动态移动的第一偏置装置(72)。