[发明专利]测定器在审
申请号: | 202080041451.3 | 申请日: | 2020-06-02 |
公开(公告)号: | CN113994175A | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 高木纯;田中坚志;高桥智纪 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | G01D11/24 | 分类号: | G01D11/24 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 邰琳琳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测定 | ||
1.一种测定器,具备传感器部,上述传感器部具有:基板,具有第一主面和第二主面;一对梳齿电极,设置于上述第一主面;以及一对背面电极,设置于上述第二主面并且与上述一对梳齿电极分别对应,
上述一对梳齿电极中的每个梳齿电极具有多个齿部和连接该齿部彼此的连接部,
上述基板在与在上述一对梳齿电极内的区域内的齿部对应的位置具有导通孔导体,其中,上述区域由在上述多个齿部的排列方向上位于两端的齿部和上述一对梳齿电极的上述连接部包围,
上述导通孔导体连接上述梳齿电极与上述背面电极。
2.根据权利要求1所述的测定器,其中,
上述传感器部在上述第一主面还具有壁部,上述壁部比该第一主面突出并且包围上述一对梳齿电极的周围。
3.根据权利要求1或2所述的测定器,其中,
上述导通孔导体配置于上述区域内的上述齿部的前端部。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的测定器,其中,
上述一对背面电极为点对称形状。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的测定器,其中,
上述一对背面电极为长方形。
6.根据权利要求1~4中任一项所述的测定器,其中,
上述一对背面电极具备基底部和延伸部,上述导通孔导体连接于上述一对背面电极的上述延伸部。
7.根据权利要求2~5中任一项所述的测定器,其中,
上述壁部为与上述一对梳齿电极相同的构造。
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