[发明专利]用于检测一个或多个扫描带电粒子束的设备和方法

权利要求书

1.一种用于检查样本的设备，其特征在于，所述设备包括：

用于保持样本的样本保持器；

带电粒子列，其用于产生一个或多个带电粒子束并将一个或多个带电粒子束朝向样本保持器引导，其中带电粒子列配置成用于将所述一个或多个带电粒子束聚焦在样本上的一个或多个带电粒子束点处；

扫描单元，其用于沿扫描方向在样本上扫描一个或多个带电粒子束点；

光子检测器，其用于当所述一个或多个带电粒子束撞击在样本上时，或者当所述一个或多个带电粒子束在所述一个或多个带电粒子束透射通过样本之后撞击到发光材料层上时，检测由所述一个或多个聚焦的带电粒子束产生的光子；

光学组件，其用于沿着光束路径将来自所述一个或多个带电粒子束点的所述光子的至少一部分投射或成像到所述光子检测器上的一个或多个光点上；以及

移位单元，其用于使一个或多个光点和/或光子检测器相对于彼此移位，其中所述移位单元配置成至少部分地补偿由于扫描单元扫描一个或多个带电粒子束点而导致的一个或多个带电粒子束在样本上或在发光材料层上的移动。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，光学组件包括物镜，其用于收集来自所述一个或多个带电粒子束点的所述光子的至少一部分，其中移位单元包括用于相对于样本保持器移动物镜的物镜致动器，并且其中物镜致动器配置成在基本上平行于扫描方向的方向上移动物镜。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，物镜包括光轴，其中物镜致动器配置成在基本上垂直于物镜的光轴的方向上移动物镜。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的设备，其特征在于，光学组件包括投射透镜，其用于将所述光子的所述至少一部分投射到光子检测器上，其中移位单元包括用于相对于光子检测器移动投射透镜的投射透镜致动器。

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，投射透镜包括光轴，其中投射透镜致动器配置成在基本上垂直于投射透镜的光轴的方向上移动投射透镜。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的设备，其特征在于，光学组件包括布置在样品保持器和光子检测器之间的光束路径中的反射镜，其中反射镜配置成以0度和180度之间的偏转角反射光束路径，其中移位单元包括反射镜致动器，该反射镜致动器配置成使反射镜倾斜。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，反射镜致动器配置成使反射镜围绕旋转轴线倾斜，其中旋转轴线基本上垂直于扫描方向布置。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的设备，其特征在于，光学组件包括布置在样品保持器和光子检测器之间的光束路径中的多面体反射镜，其中反射镜配置成以0度和180度之间的偏转角反射光束路径，其中移位单元包括旋转致动器，该旋转致动器配置成使得多面体反射镜旋转。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，多面体反射镜配置成使得反射镜围绕旋转轴线旋转，其中旋转轴线基本上垂直于扫描方向布置。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的设备，其特征在于，光学组件包括布置在样本保持器和光子检测器之间的光束路径中的光学窗口，其中光学窗口布置成使得光束路径横穿所述光学窗口，其中移位单元包括倾斜致动器，所述倾斜致动器配置成使光学窗口倾斜。

11.根据权利要求10所述的设备，其特征在于，倾斜致动器配置成使光学窗口围绕旋转轴线倾斜，其中旋转轴线基本上垂直于扫描方向布置。

12.根据权利要求1-11中任一项所述的设备，其特征在于，光学组件包括布置在样本保持器和光子检测器之间的光束路径中的光学透明多面体，其中光学透明多面体布置成使得光束路径横穿所述光学透明多面体，其中移位单元包括旋转致动器，所述旋转致动器配置成用于使得光学透明多面体旋转。