[发明专利]具有可变孔口装置的再处理机

权利要求书

1.一种净化系统，包括：

第一净化流体的第一源，

气体压缩机；

第一可变孔口装置；

第二可变孔口装置；

第一冲洗管线，其经由所述第一可变孔口装置连接到所述气体压缩机，并进一步连接到所述第一净化流体的第一源，所述第一冲洗管线包括第一输出端；以及

第二冲洗管线，其经由所述第二可变孔口装置连接到所述气体压缩机，并进一步连接到所述第一净化流体的第一源，所述第二冲洗管线包括第二输出端。

2.根据权利要求1所述的净化系统，其中，所述第一可变孔口装置包括具有第一尺寸的第一孔口，并且所述第二可变孔口装置包括具有与所述第一尺寸不同的第二尺寸的第二孔口。

3. 根据权利要求2所述的净化系统，进一步包括：

沿所述第一冲洗管线设置在所述第一可变孔口装置与所述第一输出端之间的第一流动特性传感器；以及

沿所述第二冲洗管线设置在所述第一可变孔口装置与所述第二输出端之间的第二流动特性传感器。

4.根据权利要求3所述的净化系统，其中，所述第一流动特性传感器包括第一流速传感器。

5.根据权利要求3所述的净化系统，其中，所述第一源设置在所述第一可变孔口装置与所述第一冲洗管线之间。

6.根据权利要求4所述的净化系统，进一步包括用于容纳第二净化流体的第二源，所述第二源设置在第二第一可变孔口装置与所述第二冲洗管线之间。

7.根据权利要求6所述的净化系统，其中，所述第二净化流体与所述第一净化流体相同。

8.根据权利要求6所述的净化系统，进一步包括连接到所述第一可变孔口装置和所述第一冲洗管线的第一旁通管线。

9.根据权利要求8所述的净化系统，进一步包括连接到所述第二可变孔口装置和所述第二冲洗管线的第二旁通管线。

10.根据权利要求9所述的净化系统，进一步包括连接到所述第一可变孔口装置、所述第一冲洗管线和所述第一旁通管线的第一阀，所述第一阀配置成将来自所述第一可变孔口装置的空气朝向所述第一源或朝向所述旁通管线引导。

11.根据权利要求10所述的净化系统，进一步包括连接到所述第二可变孔口装置、所述第二冲洗管线和所述第二旁通管线的第二阀，所述第二阀配置成将来自所述第一可变孔口装置的空气朝向所述第一源或朝向所述旁通管线引导。

12.根据权利要求11所述的净化系统，其中，所述第一可变孔口装置包括第一空气比例阀。

13.根据权利要求12所述的净化系统，其中，所述第二可变孔口装置包括第二空气比例阀。

14.根据权利要求13所述的净化系统，其中，所述第一空气比例阀包括第一闭环空气比例阀。

15.根据权利要求14所述的净化系统，其中，所述第二空气比例阀包括第二闭环空气比例阀。

16.根据权利要求15所述的净化系统，进一步包括控制系统，所述控制系统连接到所述第一流动特性传感器和所述第一闭环空气比例阀。

17.根据权利要求16所述的净化系统，其中，所述控制系统进一步连接到所述第二流动特性传感器和所述第二闭环空气比例阀。

18.根据权利要求17所述的净化系统，其中，所述控制系统配置为基于来自所述第一流动特性传感器的第一输出来调整所述第一尺寸或所述第二尺寸。