[发明专利]多层超导制品、超导线圈、致动器、马达、平台设备和光刻设备

权利要求书

1.一种在纵向方向上延伸的多层超导制品，包括：

-在所述纵向方向上延伸的衬底层；

-在所述纵向方向上延伸的超导层；

-在所述纵向方向上延伸的另一层；

其中，所述衬底层或所述另一层包括在所述纵向方向上和在横向方向上延伸的一个或更多个冷却突出部。

2.根据权利要求1所述的多层超导制品，其中所述一个或更多个冷却突出部延伸超过所述超导层的侧表面。

3.根据权利要求1或2所述的多层超导制品，其中所述衬底层包括所述一个或更多个冷却突出部，所述衬底层的宽度大于所述另一层的宽度。

4.根据权利要求1或2所述的多层超导制品，其中所述另一层包括所述一个或更多个冷却突出部，所述另一层的宽度大于所述衬底层的宽度。

5.根据权利要求1或2所述的多层超导制品，其中所述衬底层包括所述一个或更多个冷却突出部，所述衬底层的侧表面在所述横向方向上延伸超过所述另一层的侧表面。

6.根据权利要求1或2所述的多层超导制品，其中所述另一层包括所述一个或更多个冷却突出部，所述另一层的侧表面在横向方向上延伸超过所述衬底层的侧表面。

7.根据前述权利要求中任一项所述的多层超导制品，其中所述另一层包括稳定剂层。

8.根据前述权利要求中任一项所述的多层超导制品，其中所述衬底层和所述另一层是大致平面的，在所述纵向方向和所述横向方向上延伸。

9.根据前述权利要求中任一项所述的多层超导制品，其中所述衬底层、超导层和所述另一层中的每一层具有在所述纵向方向和所述横向方向上延伸的一对大致平行的主表面。

10.根据前述权利要求中任一项所述的多层超导制品，其中所述衬底层、超导层和所述另一层在大致垂直于所述纵向方向和所述横向方向的堆叠方向上堆叠。

11.根据前述权利要求中任一项所述的多层超导制品，还包括以下层中的至少一个：

-绝缘层；

-盖层，或

-缓冲层。

12.根据前述权利要求中任一项所述的多层超导制品，其中所述制品是带。

13.一种超导线圈，由根据权利要求11所述的带制成。

14.一种超导线圈，包括由超导带制成的多个绕组，所述超导线圈还包括被布置在所述多个绕组中的相邻绕组之间的空间中的一个或更多个插入件，所述一个或更多个插入件具有比所述超导带的宽度更大的宽度。

15.根据权利要求14所述的超导线圈，其中所述超导带包括第一代或第二代超导材料。

16.根据权利要求14或15所述的超导线圈，其中所述超导带是根据权利要求11所述的带。

17.根据权利要求14至16中任一项所述的超导线圈，其中所述一个或更多个插入件的侧表面与所述带的侧表面大致齐平。

18.根据权利要求14至17中任一项所述的超导线圈，其中所述一个或更多个插入件由导热材料制成。

19.根据权利要求14至18中任一项所述的超导线圈，其中所述一个或更多个插入件具有与所述相邻绕组之间的间隙大致对应的厚度。

20.根据权利要求14至19中任一项所述的超导线圈，其中所述一个或更多个插入件沿所述多个绕组的大致笔直部分布置。