[发明专利]纳秒脉冲器射频隔离在审
| 申请号： | 202080048240.2 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN114041203A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托弗·伯曼;康纳·利斯顿;尼古拉斯·A·杨;肯尼斯·米勒;艾丽亚·斯劳伯道夫;迪麦西·津巴 | 申请（专利权）人： | 鹰港科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/00;H03K3/00 |
| 代理公司： | 上海君立衡知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31389 | 代理人： | 黄庆 |
| 地址： | 美国华盛顿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 脉冲 射频 隔离 | ||
1.一种等离子体系统，包含：
等离子体腔室；
射频驱动器，所述射频驱动器驱动射频突发到所述等离子体腔室，所述射频突发具有大于2MHz的射频频率；
纳秒脉冲器，所述纳秒脉冲器驱动脉冲到所述等离子体腔室，所述脉冲具有脉冲重复频率和峰值电压，所述脉冲重复频率小于所述射频频率，所述峰值电压大于2kV；
第一滤波器，所述第一滤波器配置在所述射频驱动器和所述等离子体腔室之间；以及
第二滤波器，所述第二滤波器配置在所述纳秒脉冲器和所述等离子体腔室之间。
2.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述脉冲重复频率大于10kHz。
3.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述第一滤波器包含：
电容，所述电容与所述射频驱动器和所述等离子体腔室串联，所述电容包含小于约500pH的电容值。
4.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述第一滤波器包含：
电感，所述电感与所述射频驱动器的输出端和接地端耦接。
5.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述第二滤波器包含：
电感，其与所述纳秒脉冲器和所述等离子体腔室串联，所述电感具有小于约50μH的电感值。
6.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述第二滤波器包含：
电容，所述电容与所述纳秒脉冲器的输出端和接地端耦接。
7.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述第一滤波器包含高通滤波器。
8.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述第二滤波器包含低通滤波器。
9.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述射频驱动器不包含匹配网络。
10.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述等离子体腔室包含天线，所述天线与所述射频驱动器电耦接。
11.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述等离子体腔室包含阴极，所述阴极与所述射频驱动器电耦接。
12.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述等离子体腔室包含阴极，所述阴极与所述纳秒脉冲器电耦接。
13.一种等离子体系统，包含：
包含天线和阴极的等离子体腔室，；
与所述天线电耦接的射频驱动器，所述射频驱动器在所述等离子体腔室中产生射频突发，所述射频突发具有大于约2MHz的射频频率；
与所述阴极电耦接的纳秒脉冲器，所述纳秒脉冲器产生脉冲到所述等离子体腔室中，所述脉冲具有脉冲重复频率和电压，所述脉冲重复频率小于所述射频频率，所述电压大于2kV；
电容，所述电容配置在所述射频驱动器和所述天线之间；以及
电感，所述电感配置在所述纳秒脉冲器合所述阴极之间。
14.根据权利要求13所述的等离子体系统，其中，所述电容具有小于约100pF的电容值。
15.根据权利要求13所述的等离子体系统，其中，所述电感具有小于约10nH的电感值。
16.根据权利要求13所述的等离子体系统，其中，所述脉冲重复频率大于10kHz。
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