[发明专利]双频直驱电感耦合等离子体源

权利要求书

1.一种向等离子体处理系统提供RF功率的方法，其包括：

提供接线盒，所述接线盒包括：

第一连接器，其被配置为连接第一直驱电路；

多个第二连接器，其被配置为连接线圈外壳；以及

第一电容电路，其连接于所述第一连接器与所述多个第二连接器之间；

提供线圈外壳，所述线圈外壳包括：

多个第三连接器，其连接所述接线盒的所述多个第二连接器；以及

第一线圈和第二线圈，其连接所述线圈外壳的所述多个第三连接器；

将所述接线盒和所述线圈外壳布置为与处理室的窗相邻；以及

校准所述第一电容电路的电容值。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在不激励所述处理室中的等离子体的情况下执行所述校准。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述校准在大气压下进行。

4.根据权利要求1所述的方法，其中执行所述校准以提供所述第一直驱电路的在第一频率下的串联谐振。

5.根据权利要求4所述的方法，其还包括在校准所述第一电容电路的所述电容值之后，将包括所述第一直驱电路的直驱外壳布置为与所述接线盒相邻。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述接线盒还包括：

第四连接器，其被配置为连接第二直驱电路；

多个第五连接器，其被配置为连接所述线圈外壳；以及

第二电容电路，其连接在所述第四连接器和所述多个第五连接器之间。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述线圈外壳包括：

多个第六连接器，其连接所述接线盒的所述多个第五连接器；和

第三线圈和第四线圈，其连接所述线圈外壳的所述多个第六连接器。

8.根据权利要求7所述的方法，其还包括校准所述第二电容电路的电容值。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述线圈外壳的所述多个第三连接器使得能相对于所述接线盒的所述多个第二连接器移动。

10.根据权利要求8所述的方法，其中：

所述第一线圈和所述第二线圈沿相反方向相互盘绕；

所述第三线圈和所述第四线圈沿相反方向相互盘绕；以及

所述第一线圈和所述第二线圈布置在所述第三线圈和所述第四线圈的内侧或外侧。

11.根据权利要求5所述的方法，其中所述第一直驱电路包括：

时钟发生器，其以所述第一频率产生时钟信号；

栅极驱动器，其连接所述时钟发生器的输出；

DC电源；和

半桥，其连接所述栅极驱动器和所述DC电源。

12.一种用于向衬底处理系统提供RF功率的直驱系统，其包括：

直驱外壳，其包括：

第一直驱电路，其位于所述直驱外壳中并以第一频率运行；和

第一连接器，其连接所述第一直驱电路；

接线盒，其布置成与所述直驱外壳相邻，并且包括：

第一电容电路，其连接所述第一直驱电路；

第一连接器，其位于所述接线盒的一侧，与所述第一电容电路的一端子连接，并与所述直驱外壳的所述第一连接器配合；

第二和第三连接器，其连接所述第一电容电路的另一端子；以及邻近所述接线盒布置的线圈外壳，其包括：

第一线圈和第二线圈；以及

第一和第二连接器，其与所述接线盒的所述第二和第三连接器配合。

13.根据权利要求12所述的直驱系统，其中，所述线圈外壳的所述第一和第二连接器以及所述接线盒的所述第二和第三连接器使得所述第一线圈和第二线圈能移动。