[发明专利]Fe-Pt-BN系溅射靶及其制造方法

权利要求书

1.一种Fe-Pt-BN系溅射用靶，其特征在于，维氏硬度为150以下。

2.如权利要求1所述的Fe-Pt-BN系溅射用靶，其特征在于，含有20摩尔％以上且小于40摩尔％的Pt、25摩尔％以上且50摩尔％以下的BN，余量为Fe和不可避免的杂质。

3.如权利要求1所述的Fe-Pt-BN系溅射用靶，其特征在于，Pt为20摩尔％以上且小于40摩尔％，BN为10摩尔％以上且小于50摩尔％，并且C为大于0摩尔％且30摩尔％以下，其中，BN与C的合计含量为25摩尔％以上且50摩尔％以下，余量为Fe和不可避免的杂质。

4.如权利要求1～3中任一项所述的Fe-Pt-BN系溅射用靶，其特征在于，还含有选自Au、Ag、B、Cr、Cu、Ge、Ir、Ni、Pd、Rh、Ru中的一种以上元素。

5.如权利要求4所述的Fe-Pt-BN系溅射用靶，其特征在于，选自Au、Ag、B、Cr、Cu、Ge、Ir、Ni、Pd、Rh、Ru中的一种以上元素的合计含量为15摩尔％以下。

6.如权利要求1～5中任一项所述的Fe-Pt-BN系溅射用靶，其特征在于，相对密度为90％以上。

7.一种制造Fe-Pt-BN系溅射用靶的方法，其是权利要求2所述的Fe-Pt-BN系溅射靶的制造方法，其特征在于，

包括：

将Fe粉末和Pt粉末以及BN粉末投入到介质搅拌磨机中、以100rpm以上且300rpm以下的转速混合1小时以上且6小时以下而得到原料粉末混合物的工序；以及

对该原料粉末混合物进行烧结的工序，

所述制造方法中，不进行HIP处理。

8.一种制造Fe-Pt-BN系溅射用靶的方法，其是权利要求3所述的Fe-Pt-BN系溅射靶的制造方法，其特征在于，

包括：

将Fe粉末和Pt粉末、BN粉末以及C粉末投入到介质搅拌磨机中、以100rpm以上且300rpm以下的转速混合1小时以上且6小时以下而得到原料粉末混合物的工序；以及

对该原料粉末混合物进行烧结的工序，

所述制造方法中，不进行HIP处理。