[发明专利]半导体器件检查方法及半导体器件检查装置

说明书

本发明的半导体器件检查方法具备：检测来自半导体器件(D)中的多个位置的光，取得分别与该多个位置相对应的波形的步骤；自分别与多个位置相对应的波形提取与特定的时序相对应的波形，基于提取的波形生成与特定的时序相对应的图像的步骤；以及基于与特定的时序相对应的图像中的亮度分布相关值提取特征点，基于该特征点，特定半导体器件中的驱动元件的位置的步骤。

技术领域

本发明的一个方面涉及一种半导体器件检查方法及半导体器件检查装置。

背景技术

自先前以来，使用一边施加测试信号一边检查半导体器件的装置。例如，在以下专利文献1中，已知有具备电流镜(galvano mirror)、两根光纤、和能够与它们光耦合的多光纤转塔(Multi-fiber turret)的装置，一根光纤光耦合于激光扫描模块，另一根光纤光连接于单光子检测器。在这样的装置中，能够切换实行利用LSM(Laser ScanningMicroscopy：激光扫描显微镜)的半导体器件的检查、与利用单光子检测器的发光测量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利2009/0295414号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

此处，存在由于半导体器件小型化，检测信号中产生干扰(来自半导体器件中的多个驱动元件的光的混杂)的情况。存在无法根据干扰状态的检测信号适当地特定驱动元件的位置，并且无法高精度地进行半导体器件的故障解析等检查的风险。

本发明的一个方面是鉴于上述实际情况而完成的，涉及一种能够谋求半导体器件检查的高精度化的半导体器件检查方法及半导体器件检查装置。

用于解决技术问题的技术手段

本发明的一个方式所涉及的半导体器件检查方法具备：检测来自半导体器件中的多个位置的光，取得分别与该多个位置相对应的波形的步骤；自分别与多个位置相对应的波形提取与特定的时序相对应的波形，基于提取的波形生成与特定的时序相对应的图像的步骤；以及基于与特定的时序相对应的图像的亮度分布相关值提取特征点，基于该特征点，特定半导体器件中的驱动元件的位置的步骤。

本发明的一个方式所涉及的半导体器件检查方法中，基于半导体器件的来自多个位置的光取得分别与多个位置相对应的波形，根据与自各波形提取的特定的时序相对应的波形生成与特定的时序相对应的图像。例如，通过将特定的时序设为和驱动元件的动作相关的时序，而生成与驱动元件的动作建立关联的图像。并且，通过考虑与特定的时序相对应的图像的亮度分布相关值提取特征点，由此能够提取与特定的时序的关联度高、即与驱动元件的动作的关联度高的位置作为特征点，并基于该特征点，高精度地特定驱动元件的位置。通过高精度地特定驱动元件的位置，而能够高精度地进行半导体器件中的故障解析等的检查。

在生成图像的步骤中，也可以提取与驱动元件的动作的特定的时序相对应的波形。由此，能够适当地提取与驱动元件的动作的关联度高的位置作为特征点，并高精度地特定驱动元件的位置。

在生成图像的步骤中，也可以提取与基于半导体器件的设计信息的特定的时序相对应的波形。驱动元件的动作时序通过半导体器件的设计信息而特定。因此，通过提取与基于半导体器件的设计信息的特定的时序相对应的波形，能够适当地取得与驱动元件的动作时序相对应的波形。

在生成图像的步骤中，也可以基于与特定的时序的相关性提取波形。通过考虑与特定的时序的相关性，能够适当地提取例如接近驱动元件的动作时序的波形。

在特定位置的步骤中，也可以检测亮度分布相关值的重心，基于该重心提取特征点。通过基于亮度分布相关值的重心提取特征点，能够高精度地特定驱动元件的位置。