[发明专利]具有减少的外部杂散磁场影响的磁场传感器在审
申请号: | 202080049664.0 | 申请日: | 2020-06-17 |
公开(公告)号: | CN114096807A | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | R·拉萨尔-贝利耶;M·里乌;J-M·达加 | 申请(专利权)人: | 阿莱戈微系统有限责任公司 |
主分类号: | G01D5/14 | 分类号: | G01D5/14;G01R33/07;G01R33/09;G01R33/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 林金朝 |
地址: | 美国新罕*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 减少 外部 磁场 影响 传感器 | ||
1.一种磁场传感器,对具有以周期性图案布置的多个目标特征的目标对象作出响应,所述周期性图案具有宽度为y的空间周期,所述目标对象能够移动,使得所述目标特征相对于所述磁场传感器沿着移动方向移动,所述磁场传感器包括:
具有表面的衬底;以及
设置在所述衬底上的第一多个磁场感测元件,所述第一多个磁场感测元件包括x个磁场感测元件,每个磁场感测元件具有平行于公共轴并且平行于所述衬底的所述表面的相应最大响应轴,所述第一多个磁场感测元件布置在平行于所述移动方向的行中,其中,所述第一多个磁场感测元件中的外部磁场感测元件的中心之间的距离是y(1-1/x),其中,所述第一多个磁场感测元件以单个串联布置电耦合,从而产生串行串信号。
2.根据权利要求1所述的磁场传感器,其中,所述多个磁场感测元件的所有相邻对是等间隔的。
3.根据权利要求1所述的磁场传感器,其中,所述串行串信号基本上不对所述目标对象的所述移动作出响应,并且其中,所述串行串信号与其对所述目标对象的所述移动作出响应相比,更多地对在所述磁场传感器的外部生成的杂散磁场作出响应。
4.根据权利要求3所述的磁场传感器,还包括:
设置在所述衬底上并且不包括在所述第一多个磁场感测元件中的一个或多个磁场感测元件,每个磁场感测元件具有平行于所述公共轴并且平行于所述衬底的所述表面的相应最大响应轴,所述一个或多个磁场感测元件能够操作以响应于所述目标对象的所述移动而生成移动信号,其中,所述移动信号包括第一误差信号分量。
5.根据权利要求4所述的磁场传感器,还包括:
校正处理器,被耦合以接收所述移动信号,被耦合以接收所述串行串信号,并且能够操作以生成具有小于所述第一误差信号分量的第二误差信号分量的磁场传感器信号。
6.根据权利要求4所述的磁场传感器,其中,所述一个或多个磁场感测元件包括八个磁场感测元件,所述八个磁场感测元件中的前四个磁场感测元件以第一电桥电耦合,并且所述八个磁场感测元件中的后四个磁场感测元件以第二电桥耦合。
7.根据权利要求6所述的磁场传感器,其中,所述第一电桥能够操作以响应于所述目标对象的所述移动而生成第一信号,并且所述第二电桥能够操作以响应于所述目标对象的所述移动而生成第二信号,其中,所述第一信号和所述第二信号彼此正交。
8.根据权利要求7所述的磁场传感器,还包括:
反正切处理器,被耦合以接收所述第一信号和所述第二信号,并且能够操作以生成指示所述目标对象的所述移动的角度的角度信号,其中,所述移动信号对应于角度信号,并且其中,所述第一误差信号分量对应于第一角度误差分量。
9.根据权利要求8所述的磁场传感器,还包括:
校正处理器,被耦合以接收所述角度信号,被耦合以接收所述串行串信号,并且能够操作以生成具有小于所述第一角度误差分量的第二角度误差分量的磁场传感器信号。
10.根据权利要求1所述的磁场传感器,其中,所述目标对象包括铁磁性目标对象。
11.根据权利要求10所述的磁场传感器,还包括:
靠近所述衬底设置的两磁极磁体。
12.根据权利要求1所述的磁场传感器,其中,所述目标对象包括具有两个或更多个磁极的圆形磁体。
13.根据权利要求1所述的磁场传感器,其中,所述第一多个磁场感测元件包括第一多个磁阻元件。
14.根据权利要求1所述的磁场传感器,其中,所述第一多个磁场感测元件包括第一多个垂直霍尔元件。
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