[发明专利]具有用于广角离子束的抽取组合件的设备以及系统

权利要求书

1.一种离子束处理设备，包括：

等离子体腔室；

等离子体板，设置在所述等离子体腔室旁边，所述等离子体板界定第一抽取开孔；

束阻挡器，设置在所述等离子体腔室内并面向所述抽取开孔；

非平面电极，邻近所述束阻挡器并在所述等离子体腔室的外部设置；以及

抽取板，设置在所述等离子体板的外部，并界定与所述第一抽取开孔对齐的第二抽取开孔。

2.根据权利要求1所述的离子束处理设备，其中所述等离子体板包括电绝缘体本体，且所述束阻挡器包括电绝缘体本体。

3.根据权利要求1所述的离子束处理设备，其中所述非平面电极包括环绕导电的内电极的第一介电涂层，且其中所述抽取板包括设置在导电的内板部分上的第二介电涂层。

4.根据权利要求1所述的离子束处理设备，其中所述非平面电极在沿着第一方向的横截面中包括三角形形状，所述第一方向垂直于所述等离子体板的平面。

5.根据权利要求1所述的离子束处理设备，其中所述抽取板能够沿着第一方向相对于所述等离子体板移动，所述第一方向垂直于所述等离子体板的平面。

6.根据权利要求1所述的离子束处理设备，其中所述第一抽取开孔及所述第二抽取开孔包括伸长的形状。

7.根据权利要求1所述的离子束处理设备，其中所述抽取板包括第一部分及第二部分，所述第一部分及所述第二部分能够沿着扫描方向相对于彼此相互移动，以改变所述第二抽取开孔的大小。

8.根据权利要求1所述的离子束处理设备，其中所述束阻挡器、所述非平面电极、所述等离子体板及所述抽取板被相互设置成将离子束抽取为一对离子子束，所述一对离子子束以相对于所述等离子体板的平面的法线具有30度或更大的值的抽取角为特征。

9.一种离子束处理系统，包括：

等离子体腔室；

抽取组合件，沿着所述等离子体腔室的一侧设置，包括：

等离子体板，设置在所述等离子体腔室旁边，所述等离子体板界定第一抽取开孔；

束阻挡器，设置在所述等离子体腔室内并面向所述抽取开孔；

非平面电极，邻近所述束阻挡器并在所述等离子体腔室的外部设置；以及

抽取板，设置在所述等离子体板的外部，并界定与所述第一抽取开孔对齐的第二抽取开孔；以及

抽取电压系统，电耦合到所述等离子体腔室及所述抽取板，以在所述抽取板与所述等离子体腔室之间产生偏压电压。

10.根据权利要求9所述的离子束处理系统，所述抽取电压系统具有脉冲组件，以在所述抽取板与所述等离子体腔室之间产生脉冲式偏压电压。

11.根据权利要求9所述的离子束处理系统，其中所述等离子体板包括电绝缘体本体，且所述束阻挡器包括电绝缘体本体。

12.根据权利要求9所述的离子束处理系统，其中所述非平面电极包括环绕导电的内电极的第一介电涂层，且其中所述抽取板包括设置在导电的内板部分上的第二介电涂层。

13.根据权利要求9所述的离子束处理系统，其中所述非平面电极在沿着第一方向的横截面中包括三角形形状，所述第一方向垂直于所述等离子体板的平面。

14.根据权利要求9所述的离子束处理系统，其中所述抽取板能够沿着第一方向相对于所述等离子体板移动，所述第一方向垂直于所述等离子体板的平面。

15.根据权利要求9所述的离子束处理系统，其中所述抽取板包括第一部分及第二部分，所述第一部分及所述第二部分能够沿着扫描方向相对于彼此相互移动，以改变所述第二抽取开孔的大小。