[发明专利]用于执行空间分辨的光声测量的设备和方法

权利要求书

1.一种用于执行空间分辨的光声测量的设备(10)，其中所述设备(10)具有以下：

a)样品保持器(24)，所述样品保持器用于容纳待检查的样品(12)；

b)在所述样品保持器(24)的区域中的电声换能器(20)，所述电声换能器用于探测由光束(14，14b)在所述样品(12)上激发的声波；

其特征在于，所述设备(10)进一步具有以下：

c)光束装置(26)，所述光束装置用于将在空间和时间上彼此分离的多个光束(14，14b)发射到所述样品(12)上，以便在所述样品(12)上的空间分离位置处产生声波(18)。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述光束装置(26)具有以下：

c1单个光源(28)，所述单个光源用于发射初级光束(14a)；

c2分束器(32)，所述分束器构造用于将所述光源(28)的所述初级光束(14a)分成多个次级光束(14b)；

c3射束减速装置(36)，所述射束减速装置具有射束减速器(40a-40e)，所述射束减速器构造用于使所述次级光束(14b)中的一个次级光束相对于所述次级光束(14b)中的另一个次级光束减速，以便实现所述一个次级光束(14b)相对于所述另一个次级光束(14b)在所述样品(12)上的延迟照射。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述射束减速装置(36)具有多个射束减速器(40a-40e)，所述多个射束减速器不同地进行延迟，所述多个射束减速器构造用于不同地延迟次级光束(14b)，如此使得所述次级光束能够分别相对于彼此有时间偏移地照射在所述样品(12)上。

4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述射束减速器(40a-40e)在所述射束减速装置(36)处在相互不同的方向(R1，R2)中二维地布置或构造，使得所述次级光束(14b)在二维的面的区域中照射在所述样品(12)上。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的设备，其中，射束减速器(40a-40e)具有高折射率的玻璃和/或高折射率的塑料。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的设备，其中，射束减速器(40a-40e)具有玻璃纤维。

7.根据权利要求2至6中任一项所述的设备，其中，所述射束减速装置(36)具有至少区段式地对所述次级光束(14b)透明的板(38)，所述板具有至少一个射束减速器(40a-40e)。

8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述板(38)一体式地构造。

9.根据权利要求2至8中任一项所述的设备，其中，所述分束器(32)具有用于将所述初级光束(14a)分成所述次级光束(14b)的衍射光学元件和/或微透镜阵列。

10.根据权利要求2至9中任一项所述的设备，其中，所述电声换能器(20)被集成到所述射束减速装置(36)中。

11.如前述权利要求中任一项所述的设备，其中，所述设备(10)具有示波器(22)，所述示波器用于处理和/或示出所述电声换能器(20)的输出信号。

12.根据权利要求2至11中任一项所述的设备，其中，所述分束器(32)构造成纤维分束器的形式。