[发明专利]高密度基板处理系统及方法

权利要求书

1.一种基板处理系统，包含：

工厂接口；

装载锁，所述装载锁与所述工厂接口耦接；

转移腔室，所述转移腔室与所述装载锁耦接，其中所述转移腔室包含机器人，所述机器人配置成从所述装载锁取回基板；以及

腔室系统，所述腔室系统定位成与所述转移腔室相邻并与所述转移腔室耦接，所述腔室系统包含：

转移区域，所述转移区域可被所述机器人横向存取，其中所述转移区域包含：

多个基板支撑件，所述多个基板支撑件沿着所述转移区域设置，所述

多个基板支撑件中的每个基板支撑件可在第一位置和第二位置之间沿着所述基板支撑件的中心轴线垂直平移，

转移设备，所述转移设备可沿着中心轴线旋转并经配置以接合基板并在所述多个基板支撑件之间转移基板，以及

多个处理区域，所述多个处理区域从所述转移区域垂直偏移，所述多个处理区域中的每个处理区域与所述多个基板支撑件中的相关基板支撑件轴向对准，其中每个处理区域由所述第二位置中的相关基板支撑件从下方限定。

2.如权利要求1所述的基板处理系统，其中所述腔室系统的所述转移区域内的所述多个基板支撑件包括至少四个基板支撑件。

3.如权利要求1所述的基板处理系统，其中所述多个处理区域中的每个处理区域与所述转移区域流体耦接，并且与所述多个处理区域中的每个其他处理区域从上方流体隔离。

4.如权利要求1所述的基板处理系统，所述基板处理系统进一步包含至少两个额外的腔室系统，所述至少两个额外的腔室系统被定位成与所述转移腔室相邻并与所述转移腔室耦接。

5.如权利要求4所述的基板处理系统，其中每个腔室系统沿着与所述转移腔室相邻的所述转移区域的壳体的表面限定两个入口，其中所述两个入口中的第一入口与所述多个基板支撑件中的第一基板支撑件对准，并且其中所述两个入口中的第二入口与所述多个基板支撑件中的第二基板支撑件对准。

6.如权利要求5所述的基板处理系统，其中所述机器人包括两个臂，所述两个臂被配置为通过所述第一入口从所述第一基板支撑件传送或取回第一基板，并且同时通过所述第二通道从所述第二基板支撑件传送或取回第二基板。

7.如权利要求1所述的基板处理系统，所述基板处理系统进一步包含至少三个额外的腔室系统，所述至少三个额外的腔室系统被定位成与所述转移腔室相邻并与所述转移腔室耦接。

8.如权利要求7所述的基板处理系统，其中每个腔室系统沿着与所述转移腔室相邻的所述转移区域的壳体的表面限定一个入口，其中所述一个入口与所述多个基板支撑件中的第一基板支撑件对准。

9.一种在基板处理系统内处理基板的方法，所述方法包含以下步骤：

由转移腔室机器人将基板传送到腔室系统的转移区域内的第一基板支撑件上；

在所述第一基板支撑件处将所述基板与容纳在所述腔室系统的所述转移区域内的转移设备接合；

由所述转移设备将所述基板转移到所述腔室系统的所述转移区域内的第二基板支撑件上；

由所述第二基板支撑件将所述基板沿着所述第二基板支撑件的中心轴线升高到覆盖所述转移区域的第一处理区域，其中所述第二基板支撑件从下方至少部分地限定所述第一处理区域；和

在所述第一处理区域内处理所述基板。

10.如权利要求9所述的处理基板的方法，其中使所述基板与所述转移设备接合的步骤包括以下步骤：使至少三个基板与所述转移设备接合，并且其中转移所述基板包括以下步骤：由所述转移设备将所述至少三个基板转移至所述转移区域内的至少三个其他基板支撑件。