[发明专利]制造物品的平坦化过程、设备和方法

权利要求书

1.一种方法，包括：

用覆板卡盘保持覆板；

施加压力以使所述覆板朝向基板偏转，覆板的偏转沿着径向方向逐渐延伸；

保持施加到所述覆板的周边的真空，并在通过压力使所述覆板偏转的同时用所述卡盘持续保持所述覆板；

从所述覆板的所述周边解除真空；以及

从所述卡盘上释放所述覆板。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：

所述覆板卡盘包括与所述覆板的中心部分对齐的中心区域和一系列环形区域，所述一系列环形区域包括与所述覆板的周边对齐的外围环形区域和在所述中心区域和所述外围环形区域之间的至少一个内部环形区域；以及

施加压力以使所述覆板偏转还包括：

通过所述中心区域施加压力并保持通过所述一系列环形区域施加的真空；

在所述覆板的中心部分已经通过压力偏转之后，从所述环形区域解除真空并通过所述内部环形区域施加压力；以及

从所述外围环形区域解除真空。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述一系列环形区域包括多个内部环形区域，从所述内部区域顺序地解除真空，并且在径向方向上通过所述内部环顺序地向所述覆板施加压力。

4.根据权利要求2所述的方法，还包括：

在所述基板上分配可成形材料接触部；

用可成形材料接触部接触所述覆板；以及

向对应于可成形材料接触部的流动前沿的覆板施加压力。

5.根据权利要求4所述的方法，其中可成形材料接触部被分配作为沉积在所述基板上的多个液滴。

6.根据权利要求2所述的方法，其中压力被施加到所述中心区域，以将初始高度控制在确定的范围，并保持所述覆板的预定曲率。

7.根据权利要求1所述的方法，还包括：

在从所述卡盘释放所述覆板后固化可成形材料接触部；

在固化期间，相对于固化源移动所述覆板的横向位置；

用所述卡盘重新保持所述覆板；以及

将所述覆板与固化的可成形材料接触部分离。

8.一种多区域卡盘系统，包括：

基板卡盘，其用于保持基板；

覆板卡盘，其用于保持覆板；以及

压力源，其配置成经由所述覆板卡盘的多个端口向所述覆板施加压力和真空，其中

将压力顺序施加到所述覆板的多个区域，使得所述覆板从一个区域到另一个区域朝向所述基板逐渐偏转，以及

在所述覆板通过压力偏转的同时，真空被施加到所述覆板的周边。

9.根据权利要求8所述的多区域卡盘系统，其中：

所述覆板卡盘包括多个同心脊部，所述同心脊部将所述覆板卡盘限定为中心区域和一系列环形区域，所述一系列环形区域包括与所述覆板的周边对齐的外围区域和在所述中心区域和所述外围环形区域之间的至少一个内部环形区域；

所述压力源配置成顺序地

经由所述中心区域中的端口施加压力，同时经由所述一系列环形区域中的端口施加真空；

经由所述内部环形区域的端口施加压力，并在外围环形区域保持真空；以及

从所述外围环形区域中的端口解除真空。

10.根据权利要求9所述的多区域卡盘系统，其中所述覆板卡盘的所述中心区域包括空气腔，所述空气腔与所述覆板的中心对齐，同时使所述覆板与所述可成形材料接触。

11.根据权利要求9所述的多区域卡盘系统，还包括可成形材料分配器，所述可成形材料分配器配置成将所述可成形材料的多个液滴分配到所述基板上，其中：

所述覆板卡盘配置成推进所述覆板以使所述覆板与所述基板上的可成形材料接触；以及

所述压力源配置成顺序地向对应于所述可成形材料的流动前沿的区域施加压力。