[发明专利]具有减少的横向模式的BAW谐振器在审

专利信息
申请号: 202080052679.2 申请日: 2020-07-24
公开(公告)号: CN114270705A 公开(公告)日: 2022-04-01
发明(设计)人: F·洛克纳;E·米勒 申请(专利权)人: RF360欧洲有限责任公司
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 王茂华;傅远
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具有 减少 横向 模式 baw 谐振器
【权利要求书】:

1.一种具有减少的横向模式的BAW谐振器,包括:

有源堆叠,包括:

-底部电极层中的底部电极,

-顶部电极层中的顶部电极,

-所述底部电极层与所述顶部电极层之间的压电层中的压电材料,

其中,

-选自所述有源堆叠的至少一个元件具有弯曲侧壁。

2.根据前述权利要求所述的BAW谐振器,其中所述有源堆叠的两个侧壁或所有侧壁具有弯曲侧壁。

3.根据前述权利要求中一项所述的BAW谐振器,其中所述有源堆叠的一个或多个元件的侧壁的数目为奇数。

4.根据前述权利要求中一项所述的BAW谐振器,其中所述一个或多个弯曲侧壁被布置在球体、圆柱体或棱柱体上。

5.根据前述权利要求中一项所述的BAW谐振器,其中,

两个或更多个弯曲侧壁被布置在具有半径不同的椭圆形印迹的球体、圆柱体或棱柱体上。

6.根据前述权利要求中一项所述的BAW谐振器,其中,

所述有源堆叠的同一元件的两个或更多个弯曲侧壁具有不同的半径。

7.根据前述权利要求中一项所述的BAW谐振器,其中,

所述有源堆叠的不同元件的两个或更多个弯曲侧壁具有不同的半径。

8.一种RF滤波器,包括一个或多个根据前述权利要求中一项所述的BAW谐振器。

9.一种多路复用器,包括一个或多个根据前述权利要求所述的RF滤波器。

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