[发明专利]具有减少的横向模式的BAW谐振器在审
申请号: | 202080052679.2 | 申请日: | 2020-07-24 |
公开(公告)号: | CN114270705A | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | F·洛克纳;E·米勒 | 申请(专利权)人: | RF360欧洲有限责任公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华;傅远 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 减少 横向 模式 baw 谐振器 | ||
1.一种具有减少的横向模式的BAW谐振器,包括:
有源堆叠,包括:
-底部电极层中的底部电极,
-顶部电极层中的顶部电极,
-所述底部电极层与所述顶部电极层之间的压电层中的压电材料,
其中,
-选自所述有源堆叠的至少一个元件具有弯曲侧壁。
2.根据前述权利要求所述的BAW谐振器,其中所述有源堆叠的两个侧壁或所有侧壁具有弯曲侧壁。
3.根据前述权利要求中一项所述的BAW谐振器,其中所述有源堆叠的一个或多个元件的侧壁的数目为奇数。
4.根据前述权利要求中一项所述的BAW谐振器,其中所述一个或多个弯曲侧壁被布置在球体、圆柱体或棱柱体上。
5.根据前述权利要求中一项所述的BAW谐振器,其中,
两个或更多个弯曲侧壁被布置在具有半径不同的椭圆形印迹的球体、圆柱体或棱柱体上。
6.根据前述权利要求中一项所述的BAW谐振器,其中,
所述有源堆叠的同一元件的两个或更多个弯曲侧壁具有不同的半径。
7.根据前述权利要求中一项所述的BAW谐振器,其中,
所述有源堆叠的不同元件的两个或更多个弯曲侧壁具有不同的半径。
8.一种RF滤波器,包括一个或多个根据前述权利要求中一项所述的BAW谐振器。
9.一种多路复用器,包括一个或多个根据前述权利要求所述的RF滤波器。
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