[发明专利]致动器

权利要求书

1.一种致动器，具备：

基础电极；

与所述基础电极相对的相对电极；

与所述基础电极连接的第1端子；以及

与所述相对电极连接的第2端子，

所述基础电极中的至少与所述相对电极相对的面由绝缘层覆盖，

所述相对电极由导电体制成，所述导电体是具有能够在对所述第1端子和所述第2端子施加了电压时，因作用于所述基础电极与所述相对电极之间的库仑力而变形的可弯曲性的导电体。

2.根据权利要求1所述的致动器，

所述致动器具备：

依次排列的多个基础电极；和

在所述多个基础电极中的相邻的基础电极之间各配置有1个或多个的相对电极，

所述第1端子与所述多个基础电极连接，

所述第2端子与所述1个或多个相对电极连接，

所述相邻的基础电极中的夹着相对电极而相向的面具有嵌合的凹凸形状，并且由绝缘层覆盖。

3.根据权利要求1所述的致动器，

所述基础电极具有第1基础电极、和与第1基础电极隔着间隔配置的第2基础电极，

所述相对电极配置于所述第1基础电极与第2基础电极之间，

所述第1基础电极的与所述相对电极相对的面具有第1凹凸形状，并且由第1绝缘层覆盖，

所述第2基础电极的与所述相对电极相对的面具有与所述第1凹凸形状嵌合的第2凹凸形状，并且由第2绝缘层覆盖。

4.根据权利要求1所述的致动器，

所述基础电极具有：

第1基础电极；

与第1基础电极隔着间隔配置的第2基础电极；以及

配置于所述第1基础电极与所述第2基础电极之间的中间基础电极，

在所述第1基础电极与所述中间基础电极之间、和所述第2基础电极与所述中间基础电极之间分别配置有所述相对电极，

所述第1基础电极的朝向所述中间基础电极的第1面具有第1凹凸形状，并且由第1绝缘层覆盖，

所述第2基础电极的朝向所述中间基础电极的第2面具有第2凹凸形状，并且由第2绝缘层覆盖，

所述中间基础电极的朝向所述第1基础电极侧的第3面具有与所述第1凹凸形状嵌合的第3凹凸形状，并且由第3绝缘层覆盖，

所述中间基础电极的朝向所述第2基础电极侧的第4面具有与所述第2凹凸形状嵌合的第4凹凸形状，并且由第4绝缘层覆盖。

5.根据权利要求1所述的致动器，

所述基础电极具有：

第1基础电极；

与第1基础电极隔着间隔配置的第2基础电极；以及

在所述第1基础电极与所述第2基础电极之间依次排列的多个中间基础电极，

在所述第1基础电极与所述中间基础电极之间、所述中间基础电极与所述中间基础电极之间、以及所述第2基础电极与所述中间基础电极之间分别配置有所述相对电极，

所述第1基础电极的朝向所述中间基础电极的第1面具有第1凹凸形状，并且由第1绝缘层覆盖，

所述第2基础电极的朝向所述中间基础电极的第2面具有第2凹凸形状，并且由第2绝缘层覆盖，

所述中间基础电极的朝向所述第1基础电极侧的第3面具有与所述第1凹凸形状嵌合的第3凹凸形状，并且由第3绝缘层覆盖，

所述中间基础电极的朝向所述第2基础电极侧的第4面具有与所述第2凹凸形状嵌合的第4凹凸形状，并且由第4绝缘层覆盖，

所述多个中间基础电极中的在相邻的中间基础电极之间朝向所述第1基础电极侧的第5面分别具有第5凹凸形状，并且由第5绝缘层覆盖，

所述多个中间基础电极中的在相邻的中间基础电极之间朝向所述第2基础电极侧的第6面分别具有第6凹凸形状，并且由第6绝缘层覆盖。

6.根据权利要求2～5中任一项所述的致动器，

具有将所述多个基础电极并联连接的第1配线。

7.根据权利要求2～6中任一项所述的致动器，

在存在多个所述相对电极的情况下，具有将多个所述相对电极并联连接的第2配线。