[发明专利]量测装置及其相位调制器设备

权利要求书

1.一种用于调制输入辐射的相位调制器设备；包括：

至少一个第一相位调制器，包括：

第一移动光栅，所述第一移动光栅处于至少一种操作状态，所述第一移动光栅用于衍射输入辐射并且使经衍射辐射的频率发生多普勒偏移；以及

第一补偿光栅元件，所述第一补偿光栅元件包括节距，所述节距被配置为补偿所述经衍射辐射的至少一个衍射阶的、依赖于波长的色散。

2.根据权利要求1所述的相位调制器设备，包括第一声光调制器，所述第一声光调制器能够操作为提供所述第一移动光栅，所述第一移动光栅为第一移动声光栅。

3.根据权利要求2所述的相位调制器设备，其中，所述第一声光调制器包括声光可调谐滤波器。

4.根据权利要求1、2或3所述的相位调制器设备，其中，所述第一相位调制器包括第一光学布置，所述第一光学布置用于将所述至少一个衍射阶重新聚焦到所述第一补偿光栅元件。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的相位调制器设备，其中，所述第一补偿光栅元件的光栅节距与所述第一移动光栅的节距相匹配，所述匹配补偿施加在所述第一移动光栅和所述第一补偿光栅元件之间的任何介入放大率。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的相位调制器设备，其中，所述输入辐射包括多个波长。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的相位调制器设备，包括第二移动光栅，所述第二移动光栅处于至少一种操作状态，所述第二移动光栅能够操作为衍射从所述第一移动光栅输出的辐射并且使经衍射辐射的频率发生多普勒偏移，以便降低从所述第一移动光栅输出的辐射的频率。

8.根据权利要求7所述的相位调制器设备，其中，由所述第一移动光栅衍射的所述至少一个衍射阶和由所述第二移动光栅衍射的至少一个衍射阶包括符号相反的衍射阶，使得从所述相位调制器设备输出的辐射的输出频率包括第一频率和第二频率的差，所述第一频率用于产生所述第一移动光栅或所述第一移动光栅的移动，并且所述第二频率用于产生所述第二移动光栅或所述第二移动光栅的移动。

9.根据权利要求8所述的相位调制器设备，包括第二声光调制器，所述第二声光调制器能够操作为提供所述第二移动光栅，所述第二移动光栅为第二移动声光栅。

10.根据权利要求9所述的相位调制器设备，其中，用于产生所述第一移动光栅的第一频率与用于产生所述第二移动光栅的第二频率的差小于1MHz。

11.根据权利要求10所述的相位调制器设备，其中所述符号相反的衍射阶包括+1衍射阶和-1衍射阶。

12.根据权利要求9、10或11所述的相位调制器设备，其中用于产生所述第二移动光栅的第二频率使得所述第二移动光栅的光栅节距与所述第一移动光栅的光栅节距相匹配，所述匹配补偿施加在所述第一移动光栅和所述第二移动光栅之间的任何介入放大率，使得所述第一补偿光栅元件包括所述第二移动光栅。

13.根据权利要求9至11中的任一项所述的相位调制器设备，包括第二相位调制器，所述第二相位调制器包括：

第二声光调制器；

第二补偿光栅元件；以及

第二光学布置，所述第二光学布置用于将从所述第二移动光栅衍射的辐射的至少一个衍射阶重新聚焦到所述第二补偿光栅元件；

其中，所述第二补偿光栅元件包括节距，所述节距被配置为补偿由所述第二移动光栅衍射的所述至少一个衍射阶的依赖于波长的色散。

14.根据权利要求13所述的相位调制器设备，其中，所述第二补偿光栅元件的光栅节距与所述第二移动光栅的光栅节距相匹配，所述匹配补偿施加在所述第二移动光栅和所述第二补偿光栅元件之间的任何介入放大率。

15.根据前述权利要求中的任一项所述的相位调制器设备，其中，所述多普勒偏移能够操作为对每个衍射阶施加与波长无关的线性时间变化相位偏移。