[发明专利]碳纳米管的制造装置和制造方法

权利要求书

1.一种碳纳米管的制造装置，其包含：

用于合成碳纳米管的合成炉、

将用于合成所述碳纳米管的催化剂原料供给至所述合成炉的催化剂原料供给喷嘴和

能够将所述催化剂原料供给喷嘴的内腔部的温度设定为比所述合成炉的反应场的温度高的喷嘴温度调整单元，

所述喷嘴温度调整单元为被设置在所述催化剂原料供给喷嘴的内部的加热器，

通过所述喷嘴温度调整单元，以使所述催化剂原料供给喷嘴的内腔部的温度成为1400℃以上的方式进行加热，

在所述合成炉的所述反应场中，将从所述催化剂原料供给喷嘴所供给的分解后的所述催化剂原料与通过其他途径所供给的碳原料进行混合。

2.根据权利要求1所述的制造装置，其中，

所述催化剂原料供给喷嘴的内腔部的温度为使催化剂原料热分解，从而产生催化剂金属蒸气的温度，所述合成炉的反应场的温度为生成催化剂金属粒子、从而生成CNT的温度。

3.根据权利要求1所述的碳纳米管的制造装置，其中，

所述制造装置具有多个所述催化剂原料供给喷嘴。

4.根据权利要求2所述的碳纳米管的制造装置，其中，

所述制造装置具有多个所述催化剂原料供给喷嘴。

5.根据权利要求1所述的碳纳米管的制造装置，其中，

在所述催化剂原料供给喷嘴的外周部外侧，具有流通碳原料的碳原料流动通道。

6.根据权利要求2所述的碳纳米管的制造装置，其中，

在所述催化剂原料供给喷嘴的外周部外侧，具有流通碳原料的碳原料流动通道。

7.根据权利要求3所述的碳纳米管的制造装置，其中，

在所述催化剂原料供给喷嘴的外周部外侧，具有流通碳原料的碳原料流动通道。

8.根据权利要求4所述的碳纳米管的制造装置，其中，

在所述催化剂原料供给喷嘴的外周部外侧，具有流通碳原料的碳原料流动通道。

9.一种碳纳米管的制造方法，

其通过将使合成所述碳纳米管的催化剂原料供给至合成炉的催化剂原料供给喷嘴的内腔部的温度设定为比合成碳纳米管的所述合成炉的反应场的温度高的高温而对所述催化剂原料进行加热，

通过被设置在所述催化剂原料供给喷嘴的内部的加热器，能够将所述催化剂原料供给喷嘴的内腔部的温度设定为比所述合成炉的反应场的温度高的高温。

10.根据权利要求9所述的制造方法，其中，

所述催化剂原料供给喷嘴的内腔部的温度为使催化剂原料热分解，从而产生催化剂金属蒸气的温度，所述合成炉的反应场的温度为生成CNT的温度。

11.一种碳纳米管的制造装置，其包含：

用于合成碳纳米管的合成炉、

将用于合成所述碳纳米管的催化剂原料供给至所述合成炉的催化剂原料供给喷嘴和

能够将所述催化剂原料供给喷嘴的内腔部的温度设定为比所述合成炉的反应场的温度高的喷嘴温度调整单元，

作为所述喷嘴温度调整单元，并用从所述催化剂原料供给喷嘴的外侧进行加热的单元和从所述催化剂原料供给喷嘴的内侧进行加热的单元，作为从所述催化剂原料供给喷嘴的内侧进行加热的单元，将陶瓷制的导热棒设置在所述催化剂原料供给喷嘴的内部，

通过所述喷嘴温度调整单元，以使所述催化剂原料供给喷嘴的内腔部的温度成为1400℃以上的方式进行加热，

在所述合成炉的所述反应场中，将从所述催化剂原料供给喷嘴所供给的分解后的所述催化剂原料与通过其他途径所供给的碳原料进行混合。

12.根据权利要求11所述的制造装置，其中，

所述催化剂原料供给喷嘴的内腔部的温度为使催化剂原料热分解，从而产生催化剂金属蒸气的温度，所述合成炉的反应场的温度为生成催化剂金属粒子、从而生成CNT的温度。