[发明专利]管、管的制造方法和管的保存方法

说明书

提供一种管，其为含有四氟乙烯/氟代烷基乙烯基醚共聚物的管，其中，设定评价长度为3μm并利用原子力显微镜(AFM)测定的上述管内表面的表面粗糙度Ra为5nm以下，来自上述管内表面的溶出金属量为0.30ng/cm²以下。

技术领域

本发明涉及管、管的制造方法和管的保存方法。

背景技术

专利文献1中记载了一种熔融成型性四氟乙烯/氟代烷氧基三氟乙烯共聚物组合物，其特征在于，该组合物含有具有305℃以上的结晶温度和50J/g以上的结晶热的聚四氟乙烯。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平7-70397号公报

发明内容

发明所要解决的问题

本发明的目的在于提供一种管内表面平滑、溶出金属量小的管。

用于解决问题的手段

根据本发明，提供一种管，其为含有四氟乙烯/氟代烷基乙烯基醚共聚物的管，设定评价长度为3μm并利用原子力显微镜(AFM)测定的上述管内表面的表面粗糙度Ra为5nm以下，来自上述管内表面的溶出金属量为0.30ng/cm²以下。

本发明的管优选上述管内表面的平均球晶直径为1～150μm。

本发明的管优选上述管内表面的平均球晶直径大于15μm。

本发明的管优选氟代烷基乙烯基醚为全氟(丙基乙烯基醚)。

本发明的管能够适合用于输送半导体器件制造用高纯度试剂。

本发明的管优选为通过一边使流过过滤精度为5nm以下的过滤器后的气体在从挤出成型机的模头挤出的管的中空部中流通一边挤出上述四氟乙烯/氟代烷基乙烯基醚共聚物而得到的管。

本发明的管优选上述四氟乙烯/氟代烷基乙烯基醚共聚物中的氟代烷基乙烯基醚单元的含量相对于全部单体单元为1.0～8.0质量％。

根据本发明，还提供一种制造方法，其为上述管的制造方法，其中，使用具备模头的挤出成型机，一边使流过过滤精度为5nm以下的过滤器后的气体在从上述模头的前端部挤出的管的中空部中流通，一边将上述四氟乙烯/氟代烷基乙烯基醚共聚物从上述模头挤出，由此得到上述管。

本发明的制造方法中，优选上述四氟乙烯/氟代烷基乙烯基醚共聚物在上述模头的前端部的树脂温度为350～370℃。

根据本发明，还提供一种保存方法，其为上述管的保存方法，其中，在上述管中封入有高纯度液体的状态下保存上述管。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种管内表面平滑、溶出金属量小的管。

附图说明

图1为示出使用了挤出成型机的TFE/FAVE共聚物的挤出成型的一例的示意性截面图。

图2为实施例1中制作的管的内表面的原子力显微镜(AFM)形貌图像(评价长度3μm)。

图3为从利用原子力显微镜(AFM)的测定数据计算出的、在实施例1中制作的管的内表面的粗糙度曲线。

图4为实施例1中制作的管的内表面的电子显微镜照片。

图4A为将图4的电子显微镜照片中包含球晶与球晶的边界部的区域4A放大后的电子显微镜照片。