[发明专利]压电泵以及泵单元

说明书

泵单元具备压电泵、和容纳压电泵的壳体。压电泵具备：具有贯通孔的压电元件、覆盖贯通孔的一个开口的第1弹性板、和覆盖贯通孔的另一个开口的第2弹性板。第1弹性板具有与压电元件的贯通孔连通的连通孔。

技术领域

本公开涉及压电泵以及泵单元。

背景技术

例如，已知如专利文献1记载的压电微型鼓风机那样，在隔膜安装压电元件并使压电元件驱动来使隔膜振动的结构。

以往，隔膜的振动源为压电元件，作为泵的特性与隔膜泵的特性相同。此外，如果包含压电元件和隔膜的压电振动板的振动与泵室整体的振动不匹配，则泵的动作变得不稳定。针对压电泵，例如谋求动作的稳定性等泵特性的提高。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开WO2008/069266号

发明内容

本公开的压电泵具备：

压电元件，具有贯通孔；

第1弹性板，覆盖所述贯通孔的一个开口，具有与所述贯通孔连通的连通孔；和

第2弹性板，覆盖所述贯通孔的另一个开口。

本公开的泵单元具备：

上述的压电泵；和

壳体，容纳所述压电泵，

所述壳体在与所述第1弹性板的所述连通孔对置的部分具有喷出口。

附图说明

本发明的目的、特点以及优点通过以下的详细说明和附图变得更为明确。

图1是表示泵单元的示意性立体图。

图2是在图1的切断面线A-A切断的剖视图。

图3是表示压电泵的示意性立体图。

图4A是表示第1实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图4B是表示第1实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图5A是表示第2实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图5B是表示第2实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图6A是表示第3实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图6B是表示第3实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图6C是表示第3实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图7A是表示第4实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图7B是表示第4实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图8A是表示第5实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图8B是表示第5实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图8C是表示第5实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图9A是表示第6实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图9B是表示第6实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图10A是表示第7实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

图10B是表示第7实施方式的压电泵的动作状态的概略剖视图。

具体实施方式