[发明专利]用于在掠入射光学单元上施加碳基反射性外涂层的方法

权利要求书

1.用于在掠入射光学单元(1；10)上施加碳基反射性外涂层的方法，所述光学单元(1；10)包括基底(2)和第一材料的涂层(3)，所述方法包括用含有至少一种有机前体材料的溶液(4)或气相处理所述光学单元(1；10)，以引起在所述涂层(3)上吸收所述前体材料的步骤。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一种前体材料包含烷基链以及官能团-CH3、-OH、-COOH、-NH2、-HC＝CH2、-CH＝CHCOO^-、-CH2OCH2、-SH和-CH＝O中的至少一种。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述前体材料是选自烷基硫醇、烷基二硫化物和烷基硫化物的材料。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述前体材料包含氧。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述前体材料包含硅。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述至少一种前体材料是有机硅烷。

7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法包括，在用所述溶液或所述气相处理的步骤之后，将所述光学单元(1；10)暴露于适于从所述前体材料中除去氧的辐射源(6)的步骤。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述第一材料是选自金、铂、铱、钯、铑、钌、铬和镍的高密度材料。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述光学单元(1)包括镍的单片外壳(2)，并且所述第一材料是金。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述外涂层(5,7)的材料是含硫的有机化合物。

11.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述光学单元是由至少一个硅晶片堆叠构成的SPO光学器件的模块(10)，并且所述第一材料由铱构成。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述外涂层的材料是含硅的有机化合物。

13.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其特征在于，所述第一材料为低密度材料。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述第一材料选自碳和B4C。