[发明专利]感光性树脂组合物及有机EL元件间隔壁在审
申请号: | 202080059917.2 | 申请日: | 2020-06-09 |
公开(公告)号: | CN114303097A | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 古江健太郎;新井良和 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/022;H01L51/52 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 马妮楠;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 有机 el 元件 间隔 | ||
本发明减少含有黑色染料的感光性树脂组合物的感光抑制,改善图案形成性并提高灵敏度。一实施方案的感光性树脂组合物包含粘合剂树脂(A)、放射线敏感化合物(B)和染料(C),染料(C)包含黑色染料(C1)和除(C1)以外的染料(C2),染料(C2)在300~800nm的波长范围中在波长480~550nm具有极大吸收,并且在将染料(C2)的极大吸收的波长的吸光度设为Abs1,将波长560~600nm中的平均吸光度设为Abs2时,Abs2/Abs1为0.1~1.0。
技术领域
本发明涉及感光性树脂组合物、以及使用了该感光性树脂组合物的有机EL元件间隔壁、有机EL元件绝缘膜、和有机EL元件。更详细而言,本发明涉及含有黑色染料的感光性树脂组合物、以及使用了该感光性树脂组合物的有机EL元件间隔壁、有机EL元件绝缘膜、和有机EL元件。
背景技术
在有机EL显示器(OLED)等显示装置中,为了提高显示特性,显示区域内的着色图案的间隔部或显示区域周边部分的边沿等使用了间隔壁材。在有机EL显示装置的制造中,为了使有机物质的像素彼此不接触,首先形成间隔壁,在该间隔壁之间形成有机物质的像素。该间隔壁一般通过使用感光性树脂组合物的光刻而形成,具有绝缘性。详细而言,使用涂布装置将感光性树脂组合物涂布在基板上,将挥发成分通过加热等手段除去后,经由掩模进行曝光,接着在负型的情况下将未曝光部分通过碱水溶液等显影液而除去,在正型的情况下将曝光部分通过碱水溶液等显影液而除去从而进行显影,将所得的图案进行加热处理,形成间隔壁(绝缘膜)。接着通过喷墨法等,将发出红色、绿色、蓝色这3色光的有机物质在间隔壁之间成膜,形成有机EL显示装置的像素。
在该领域中近年来,因为显示装置的小型化、和显示内容多样化了,因此要求像素的高性能化和高精细化。在提高显示装置中的对比度,使视觉辨认度提高的目的下,进行了使用着色剂而使间隔壁材具有遮光性的尝试。然而,在使间隔壁材具有遮光性的情况下,具有感光性树脂组合物变为低灵敏度的倾向,其结果,可能曝光时间变长,生产性降低。因此,包含着色剂的间隔壁材的形成所使用的感光性树脂组合物要求为更高灵敏度。
专利文献1(日本特开2001-281440号公报)中,作为通过曝光后的加热处理而显示高遮光性的放射线敏感性树脂组合物,记载了在包含碱可溶性树脂和醌重氮化合物的正型放射线敏感性树脂组合物中添加了钛黑的组合物。
专利文献2(日本特开2002-116536号公报)记载了在含有[A]碱可溶性树脂、[B]1,2-醌重氮化合物、和[C]着色剂的放射线敏感性树脂组合物中,使用炭黑将间隔壁材黑色化的方法。
专利文献3(日本特开2010-237310号公报)中,作为通过曝光后的加热处理而显示遮光性的放射线敏感性树脂组合物,记载了在包含碱可溶性树脂和醌重氮化合物的正型放射线敏感性树脂组合物中添加了热敏色素的组合物。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2001-281440号公报
专利文献2:日本特开2002-116536号公报
专利文献3:日本特开2010-237310号公报
发明内容
发明所要解决的课题
对于被着色了的间隔壁材的形成所使用的感光性树脂组合物,为了充分提高固化了的膜的遮光性,需要使用相当量的着色剂。在这样使用了大量的着色剂的情况下,照射到感光性树脂组合物的被膜的放射线被着色剂吸收,因此被膜中的放射线的有效强度在被膜下部(与基板接近的侧)特别降低,感光性树脂组合物未被充分曝光(感光抑制),作为结果,图案形成性降低。
在有机EL元件中的间隔壁的形成中,从生产性等观点考虑,形成间隔壁的材料为高灵敏度是重要的。然而,在使用含有着色剂的黑色的感光性树脂组合物的情况下,在通常使用的曝光条件下发生曝光不良,因此需要例如使曝光时间长,这成为使生产性降低的因素。
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