[发明专利]隔离阀

权利要求书

1.一种隔离阀，包含：

阀体，所述阀体限定第一流体容积、第二流体容积和安置表面；

挡板组件，所述挡板组件具有设置在所述阀体内部的挡板，所述挡板具有与所述安置表面互补的挡板表面，其中所述挡板在所述阀体内可枢转至第一位置，使得所述挡板表面远离所述安置表面，以允许在所述第一流体容积与所述第二流体容积之间的流体流动，其中所述挡板在所述阀体内进一步可枢转至第二位置，使得所述挡板表面靠近所述安置表面以形成非接触式密封，以限制在所述第一流体容积与所述第二流体容积之间的流体流动。

2.如权利要求1所述的隔离阀，其中当所述挡板处于所述第二位置时，在所述安置表面与互补的所述挡板表面之间形成范围在2mm与0.1mm之间的间隙，以形成所述非接触式密封。

3.如权利要求1所述的隔离阀，其中当所述挡板处于所述第二位置时，由所述挡板表面和所述安置表面限定的流动路径的长度与在所述挡板表面和所述安置表面之间的距离的比例的范围在约1000：1与约10：1之间。

4.如权利要求1所述的隔离阀，其中所述挡板组件进一步包含挡板轴，所述挡板轴配置成使所述挡板在所述第一位置与所述第二位置之间枢转，其中所述阀体包含第一侧壁，所述第一侧壁限定用于与所述挡板轴的第一端部耦接的第一孔洞，其中所述阀体进一步包含与所述第一侧壁相对的第二侧壁，其中所述第二侧壁限定用于与所述挡板轴的第二端部耦接的第二孔洞。

5.如权利要求4所述的隔离阀，其中所述挡板组件进一步包含驱动机构，所述驱动机构可操作以驱动所述挡板轴，并且其中所述驱动机构设置在所述阀体外部并且安装到所述第一侧壁的外部。

6.如权利要求1所述的隔离阀，其中所述挡板组件进一步包含挡板轴以用于使所述挡板在所述第一位置与所述第二位置之间枢转，并且其中所述挡板轴包含中空核心，所述中空核心配置成使冷却流体通过以冷却所述挡板轴和所述挡板。

7.如权利要求1所述的隔离阀，其中所述阀体包含多个壁，并且其中冷却回路设置在所述多个壁中的至少一个壁中并且配置成使冷却流体通过以冷却所述阀体。

8.如权利要求1所述的隔离阀，其中所述阀体进一步限定用于提供到所述第一流体容积的流体进出口的第一端口和用于提供到所述第二流体容积的流体进出口的第二端口，其中所述第一端口和所述第二端口限定公共的流动横截面积，并且其中所述第一端口和所述第二端口具有不同的形状。

9.如权利要求8所述的隔离阀，其中所述第一端口是圆形的，并且其中所述第二端口是矩形的。

10.如权利要求8所述的隔离阀，其中所述第二端口包括与所述挡板的枢转轴线平行的第一尺寸和与所述挡板的所述枢转轴线垂直的第二尺寸，并且其中所述第一尺寸与所述第二尺寸的比例的范围在约10：1与约1：1之间。

11.一种腔室系统，包含：

第一腔室单元；

第二腔室单元；以及

隔离阀，所述隔离阀耦接到所述第一腔室单元和所述第二腔室单元，并且配置成控制在所述第一腔室单元与所述第二腔室单元之间的流体流动，其中所述隔离阀包含：

阀体，所述阀体限定第一端口和第二端口，所述第一端口提供到所述第一腔室单元的流体进出口，所述第二端口提供到所述第二腔室单元的流体进出口；以及

挡板，所述挡板设置在所述阀体内部、具有挡板表面，其中所述挡板在所述阀体内可枢转至第一位置，使得所述挡板表面远离由所述阀体限定的安置表面，以允许在所述第一腔室单元与所述第二腔室单元之间的流体流动，其中所述挡板在所述阀体内进一步可枢转至第二位置，使得所述挡板表面靠近所述安置表面，以限制在所述第一腔室单元与所述第二腔室单元之间的流体流动，其中当所述挡板处于所述第二位置时，所述安置表面和所述挡板表面形成非接触式密封，以限制在所述第一腔室单元与所述第二腔室单元之间的流体流动。