[发明专利]位置测量装置

权利要求书

1.一种位置测量装置(10)，带有：

承载体(12)，所述承载体具有第一测量分区(14.1)、第二测量分区(14.2)和参考标记(18)；

第一扫描单元(20.1)，用于扫描所述第一测量分区(14.1)并且用于产生第一扫描信号(22.1)；

第二扫描单元(20.2)，用于扫描所述第二测量分区(14.2)并且用于产生第二扫描信号(22.2)；和

第三扫描单元(20.3)，用于扫描所述参考标记(18)并且用于产生参考脉冲(24)；

其中，所述第一测量分区(14.1)包括多个沿第一测量方向(X)周期性排列的分区结构(16.1)，

其中，所述第一测量分区(14.1)的分区结构(16.1)分别平行于第一方向(P1)延伸；

其中，所述第二测量分区(14.2)包括多个沿第二测量方向(Y)周期性排列的分区结构(16.2)，

其中，所述第一测量方向(X)和所述第二测量方向(Y)相互垂直地伸延，

其中，所述参考标记(18)沿第二方向(P2)延伸，其中，所述第一方向(P1)和所述第二方向(P2)彼此间形成不同于0°的角度(α)，

其特征在于，所述位置测量装置(10)构造成使得根据所述第一扫描信号(22.1)和所述参考脉冲(24)来确定所述参考脉冲(24)的相位位置(32)。

2.根据权利要求1所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得根据所述参考脉冲(24)的相位位置(32)来确定在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)。

3.根据权利要求2所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得在使用预定的关联规则的情形下确定在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)，用于将所述参考脉冲(24)的相位位置(32)与在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)相关联。

4.根据权利要求2所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得在使用预定的换算因子的情形下确定在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)。

5.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得根据从所述第一扫描信号(22.1)导出的相位信号(28)来确定所述参考脉冲(24)的相位位置(32)。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得根据所述参考脉冲(24)的相位位置(32)和所述第二扫描信号(22.2)来确定在所述第二测量方向(Y)上的第二绝对位置(36.2)。

7.根据权利要求6所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得以第一分辨率进行对所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)的确定，并且以第二分辨率进行对所述第二测量方向(Y)上的第二绝对位置(36.2)的确定，其中，所述第一分辨率低于所述第二分辨率。

8.根据权利要求6或7所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得根据从所述第二扫描信号(22.2)导出的相位信号(60)来确定在所述第二测量方向(Y)上的第二绝对位置(36.2)。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得根据所述第二扫描信号(22.2)来确定在所述第二测量方向(Y)上的相对位置(40)并且使在所述第二测量方向(Y)上的相对位置(40)与在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)相联系，以便获得在所述第二测量方向(Y)上的第二绝对位置(36.2)。