[发明专利]刺激响应聚合物膜和制剂在审
申请号: | 202080062618.4 | 申请日: | 2020-09-01 |
公开(公告)号: | CN114375489A | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 格雷戈里·布拉楚特;戴安·海姆斯;史蒂芬·M·施瑞德 | 申请(专利权)人: | 朗姆研究公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;C08L61/02 |
代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 樊英如;张静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 刺激 响应 聚合物 制剂 | ||
1.一种方法,其包含:
在衬底的敏感性表面上形成SRP层,其中,所述SRP层为包含刺激响应聚合物(SRP)的层,所述SRP的特征为上限温度(Tc),在所述上限温度下,所述SRP与其单体达到热平衡,所述Tc介于-80℃与400℃之间;以及
在所述SRP层上形成一或更多盖层。
2.根据权利要求1所述的方法,其还包含将包含所述SRP层与一或更多盖层的所述衬底暴露于环境条件持续预定时间段。
3.根据权利要求2所述的方法,其还包含移除所述一或更多盖层以及所述SRP层。
4.根据权利要求3所述的方法,其中,在完成所述SRP层的移除前,移除所述一或更多盖层。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的方法,其中,形成所述一或更多盖层包含:将衬底温度维持不大于所述SRP的所述上限温度。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的方法,其中,所述一或更多盖层为无机层。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的方法,其中,所述一或更多盖层包含以下一或多者:SiOx、SnOx、AlOx、TiOx、ZrOx、HfOx和ZnOx,以及氮化物膜,例如SiNx,其中x为大于0的数字。
8.根据权利要求1-5中任一项所述的方法,其中,所述一或更多盖层包含一或更多聚合物层。
9.根据权利要求2-8中任一项所述的方法,其中,通过剥离来移除所述一或更多盖层。
10.根据权利要求2-8中任一项所述的方法,其中,通过暴露于溶剂或等离子体来移除所述一或更多盖层。
11.根据权利要求10所述的方法,其中,当所述SRP层正在覆盖所述敏感性表面时,移除所述溶剂或熄灭所述等离子体。
12.根据权利要求2-8所述的方法,其中,移除所述一或更多盖层包含:使所述SRP解聚,并且将所述一或更多盖层从所述衬底剥离。
13.根据权利要求1-12中任一项所述的方法,其中,所述SRP包含作为均聚合物或共聚合物的组成聚合物的聚(苯二醛)、聚(醛)、聚(氨基甲酸苄酯)、聚(苄基醚)、聚(α-甲基苯乙烯)、聚(碳酸酯)、聚(降冰片烯)、聚(烯烃砜)、聚(乙醛酸酯)、聚(酯)、或聚(甲基丙烯酸甲酯)、以及其衍生物。
14.根据权利要求1-5或8-13中任一项所述的方法,其中,所述一或更多盖层中的一者为聚四氟乙烯、聚乙烯、聚丙烯酸酯、聚苯乙烯、聚酰亚胺、聚酰胺、聚酯、聚脲、聚醛、以及聚氨酯。
15.根据权利要求1-13中任一项所述的方法,其中,通过气相沉积来沉积所述SRP以及所述一或更多盖层。
16.一种制剂,其包含:
刺激响应聚合物(SRP),所述刺激响应聚合物的特征为上限温度(Tc),在所述上限温度下,所述SRP与其单体达到热平衡,所述Tc介于-80℃与400℃之间;以及
具有pKa≥1的有机酸,其中所述SRP:所述有机酸wt%为至少1:1。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造