[发明专利]刺激响应聚合物膜和制剂在审

专利信息
申请号: 202080062618.4 申请日: 2020-09-01
公开(公告)号: CN114375489A 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 格雷戈里·布拉楚特;戴安·海姆斯;史蒂芬·M·施瑞德 申请(专利权)人: 朗姆研究公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;C08L61/02
代理公司: 上海胜康律师事务所 31263 代理人: 樊英如;张静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 刺激 响应 聚合物 制剂
【权利要求书】:

1.一种方法,其包含:

在衬底的敏感性表面上形成SRP层,其中,所述SRP层为包含刺激响应聚合物(SRP)的层,所述SRP的特征为上限温度(Tc),在所述上限温度下,所述SRP与其单体达到热平衡,所述Tc介于-80℃与400℃之间;以及

在所述SRP层上形成一或更多盖层。

2.根据权利要求1所述的方法,其还包含将包含所述SRP层与一或更多盖层的所述衬底暴露于环境条件持续预定时间段。

3.根据权利要求2所述的方法,其还包含移除所述一或更多盖层以及所述SRP层。

4.根据权利要求3所述的方法,其中,在完成所述SRP层的移除前,移除所述一或更多盖层。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的方法,其中,形成所述一或更多盖层包含:将衬底温度维持不大于所述SRP的所述上限温度。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的方法,其中,所述一或更多盖层为无机层。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的方法,其中,所述一或更多盖层包含以下一或多者:SiOx、SnOx、AlOx、TiOx、ZrOx、HfOx和ZnOx,以及氮化物膜,例如SiNx,其中x为大于0的数字。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的方法,其中,所述一或更多盖层包含一或更多聚合物层。

9.根据权利要求2-8中任一项所述的方法,其中,通过剥离来移除所述一或更多盖层。

10.根据权利要求2-8中任一项所述的方法,其中,通过暴露于溶剂或等离子体来移除所述一或更多盖层。

11.根据权利要求10所述的方法,其中,当所述SRP层正在覆盖所述敏感性表面时,移除所述溶剂或熄灭所述等离子体。

12.根据权利要求2-8所述的方法,其中,移除所述一或更多盖层包含:使所述SRP解聚,并且将所述一或更多盖层从所述衬底剥离。

13.根据权利要求1-12中任一项所述的方法,其中,所述SRP包含作为均聚合物或共聚合物的组成聚合物的聚(苯二醛)、聚(醛)、聚(氨基甲酸苄酯)、聚(苄基醚)、聚(α-甲基苯乙烯)、聚(碳酸酯)、聚(降冰片烯)、聚(烯烃砜)、聚(乙醛酸酯)、聚(酯)、或聚(甲基丙烯酸甲酯)、以及其衍生物。

14.根据权利要求1-5或8-13中任一项所述的方法,其中,所述一或更多盖层中的一者为聚四氟乙烯、聚乙烯、聚丙烯酸酯、聚苯乙烯、聚酰亚胺、聚酰胺、聚酯、聚脲、聚醛、以及聚氨酯。

15.根据权利要求1-13中任一项所述的方法,其中,通过气相沉积来沉积所述SRP以及所述一或更多盖层。

16.一种制剂,其包含:

刺激响应聚合物(SRP),所述刺激响应聚合物的特征为上限温度(Tc),在所述上限温度下,所述SRP与其单体达到热平衡,所述Tc介于-80℃与400℃之间;以及

具有pKa≥1的有机酸,其中所述SRP:所述有机酸wt%为至少1:1。

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