[发明专利]带有可调节粒子射束的冷气喷射设备

权利要求书

1.一种用于产生可调节粒子射束(50)的冷气喷射设备(100)，所述冷气喷射设备(100)具有使粒子射束(50)流出的喷嘴(110)、用于将粒子流(40)输入喷嘴(110)的进料装置(130)和一个或多个执行器(21，22，23)，所述执行器设计为使得粒子流(40)和/或粒子射束(50)在持续运行期间能够暂时减少，尤其暂时中断，其中执行器(21，22，23)中的至少一个设计为阀，所述阀布置在进料装置(130)和喷嘴(110)之间。

2.按照权利要求1所述的冷气喷射设备(100)，其中，至少一个执行器(21，22，23)连接在进料装置(130)的下游。

3.按照前述权利要求任一项所述的冷气喷射设备(100)，其中，至少一个执行器(21，22，23)被设计为阀，所述阀布置成使得粒子流(40)被引导回进料装置(130)。

4.按照前述权利要求任一项所述的冷气喷射设备(100)，冷气喷射设备具有至少一个缓冲器(180)，缓冲器设计用于临时缓冲粒子流(40)。

5.按照前述权利要求任一项所述的冷气喷射设备(100)，执行器(21，22，23)的至少一个被设计为在第一位置(A)向喷嘴(110)输入粒子流(40)，并在第二位置(B)将粒子流传导到缓冲器(180)中。

6.按照前述权利要求任一项所述的冷气喷射设备(100)，冷气喷射设备具有控制装置(CTRL)，其设计用于根据执行器(21，22，23)之一的至少一个状态调节进料装置(130)的输送速率。

7.按照前述权利要求任一项所述的冷气喷射设备(100)，冷气喷射设备具有控制装置(CTRL)，其设计用于根据喷嘴(110)的至少一个行进速度的调节进料装置(130)的输送速率。

8.按照前述权利要求任一项所述的冷气喷射设备(100)，其中，粒子管路(13，13A，13B)设计为缓冲器(180)。

9.按照前述权利要求任一项所述的冷气喷射设备(100)，其中，执行器(21，22，23)的至少一个被设计为，喷嘴(110)的行进速度能根据粒子射束(50)和/或粒子流(40)的暂时的减小、尤其中断被调节。

10.按照前述权利要求任一项所述的冷气喷射设备(100)，其中，至少一个执行器(21，22，23)被构造为机械元件(23,24)，机械元件在粒子射束离开喷嘴(110)后阻挡和/或偏转粒子射束(50)。

11.一种控制按照前述权利要求任一项所述的冷气喷射设备(100)的方法，其中，通过进料装置(130)提供粒子流(40)，其中，至少一个执行器(21，22，23)在持续运行期间被控制成至少暂时减少，特别是至少暂时中断粒子流(40)和/或粒子射束(50)。

12.按照权利要求11所述的方法，其中，执行器(21，22，23)的至少一个根据喷嘴(110)的行进速度被控制。

13.按照权利要求11或12所述的方法，其中，至少一个执行器(21，22，23)根据进料装置(130)的输送速率被控制。

14.按照权利要求11至13中任一项所述的方法，其中，进料装置(130)的输送速率根据至少一个执行器(21，22，23)的状态被控制。