[发明专利]稀药液供给装置在审
| 申请号： | 202080063077.7 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN114365269A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 饭野秀章 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 药液 供给 装置 | ||
1.一种稀药液供给装置，其中，
具备：
稀药液制造部，通过相对于超纯水的流量添加规定量的药液，以制造该药液的规定浓度的稀药液；
贮存槽，贮存所制造的该稀药液；
稀药液供给机构，将所述稀药液向使用点供给；以及
回送机构，具备将所述使用点处的剩余的稀药液回送至贮存槽的回送配管和设置于该回送配管的中途的所述药液成分的浓度检测机构。
2.如权利要求1所述的稀药液供给装置，其中，
所述稀药液供给机构具备将规定的气体成分溶解于从所述贮存槽供给的稀药液中的气体溶解机构。
3.如权利要求1或2所述的稀药液供给装置，其中，
所述稀药液制造部具备添加所述药液的柱塞泵。
4.如权利要求1或2所述的稀药液供给装置，其中，
稀药液制造部具备包括贮存所述药液的密闭罐和向该密闭罐供给非活性气体的非活性气体供给机构的药液添加装置。
5.如权利要求1～4中任一项所述的稀药液供给装置，其中，
在所述贮存槽中设置有检测该贮存槽的水位的液位传感器，基于该液位传感器的贮存槽的水位信息，能控制稀药液制造部中的稀药液的制造和停止。
6.如权利要求1～5中任一项所述的稀药液供给装置，其中，
在所述贮存槽上具备排出机构。
7.如权利要求5或6所述的稀药液供给装置，其中，
所述稀药液供给装置能调节所述稀药液制造部中的稀药液的制造量。
8.如权利要求1～7中任一项所述的稀药液供给装置，其中，
所述贮存槽并列设置有2个以上。
9.如权利要求2～8中任一项所述的稀药液供给装置，其中，
在所述气体溶解机构的前段具备除去所述稀药液中的溶解气体的气体除去机构。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
