[发明专利]波纹管泵装置

说明书

波纹管泵装置(1)具有控制部(6)，该控制部(6)进行如下初始控制，即，在开始其运转之前，对电磁阀(4、5)进行切换而事先将加压空气供给至吸入侧空气室(26A、26B)，由此决定在运转中供给至吸入侧空气室(26A、26B)的加压空气的空气压力即运转空气压力(P1、P2)。作为初始控制，控制部(6)以使得事先供给至吸入侧空气室(26A、26B)的加压空气的空气压力逐渐升高的方式将控制指令输出至电动气动调节器(51、52)，在被从接近传感器(29B、31B)输入了检测到波纹管(13、14)的伸长位置的检测信号时，将在该时刻供给至吸入侧空气室(26A、26B)的加压空气的空气压力决定为运转空气压力(P1、P2)。

技术领域

本发明涉及一种波纹管泵装置。

背景技术

在半导体制造、化学工业等中，作为为了输送供给药液、溶剂等移送流体而使用的波纹管泵，已知以如下方式构成的结构，即，将泵壳体与泵头的两侧连结而形成2个空气室，在上述空气室的内部设置彼此独立且能够伸缩的一对波纹管，对各空气室交替地供给加压空气而使得各波纹管收缩或伸长(例如，参照专利文献1)。

关于专利文献1中记载的波纹管泵，一对波纹管中的一个波纹管收缩而将移送流体吸入至其内部，与此同时，另一个波纹管伸长而将其内部的移送流体排出。另外，所述另一个波纹管收缩而将移送流体吸入至其内部，与此同时，所述一个波纹管伸长而将其内部的移送流体排出。

专利文献1：日本特开2012-211512号公报

发明内容

关于上述波纹管泵，在其运转开始时为了使一对波纹管分别伸长而将向各空气室供给的加压空气的空气压力设定为恒定的压力值。然而，为了使波纹管伸长所需的加压空气的空气压力(适当空气压力)根据吸入至波纹管的内部的移送流体的流量等而变动。因此，如果所述恒定的压力值过度高于适当空气压力，则在波纹管的内部会产生较大的负压。于是，在将移送流体吸入至波纹管内的吸入配管内，会产生被称为“水锤(water hammer)”的冲击压力、空化，有可能对半导体制造工艺等造成不良影响。

本发明就是鉴于这种情形而提出的，其目的在于提供一种在运转开始时能够抑制将移送流体吸入至波纹管内时产生冲击压力等的波纹管泵装置。

(1)本发明是一种波纹管泵装置，其具有：流体室，相对于该流体室而对加压流体进行供给以及排出；以及伸缩自由的波纹管，如果加压流体供给至所述流体室，则所述波纹管伸长至规定的伸长位置而将移送流体吸入至该波纹管内，如果从所述流体室将加压流体排出，则所述波纹管收缩而将该波纹管内的移送流体排出，其中，所述波纹管泵装置具有：电磁阀，其对加压流体相对于所述流体室的供给及排出进行切换；流体压力调整部，其对供给至所述流体室的加压流体的流体压力进行调整；检测部，其检测到所述波纹管处于所述伸长位置而输出检测信号；以及控制部，其进行如下初始控制，即，在开始所述波纹管泵装置的运转之前，对所述电磁阀进行切换而事先将加压流体供给至所述流体室，由此决定在所述运转中供给至所述流体室的加压流体的流体压力即运转流体压力，作为所述初始控制，所述控制部以使得事先供给至所述流体室的加压流体的流体压力逐渐升高的方式将控制指令输出至所述流体压力调整部，在被从所述检测部输入了所述检测信号时，将在该时刻供给至所述流体室的加压流体的流体压力决定为所述运转流体压力。

根据以上述方式构成的波纹管泵装置，控制部进行如下初始控制，即，在开始运转之前，事先将加压流体供给至流体室，由此决定在所述运转中供给至流体室的加压流体的流体压力即运转流体压力。此时，控制部以使得加压流体的流体压力逐渐升高的方式将控制指令输出至流体压力调整部，在波纹管伸长至伸长位置而被从检测部输入了检测信号时，将在该时刻供给至流体室的加压流体的流体压力决定为所述运转流体压力。由此，运转流体压力成为使得波纹管伸长至伸长位置所需的适当流体压力附近的值，因此在运转开始时能够抑制在将移送流体吸入至波纹管内时产生冲击压力等。

(2)优选地，所述控制部以使得事先供给至所述流体室的加压流体的流体压力阶梯式地升高的方式将控制指令输出至所述流体压力调整部。