[发明专利]光刻用工艺液体组合物及利用其的图案形成方法在审
| 申请号： | 202080068084.6 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN114450640A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 李秀珍;金起洪;李昇勋;李昇炫 | 申请（专利权）人： | 荣昌化学制品株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 用工 液体 组合 利用 图案 形成 方法 | ||
1.一种用于改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷的工艺液体组合物，所述工艺液体组合物包含表面活性剂，其特征在于，所述工艺液体组合物为在光致抗蚀剂图案工艺中用于改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷工艺液体组合物，其中，所述光致抗蚀剂图案具有对光致抗蚀剂表面的水的接触角为75°以上的疏水性，
所述工艺液体组合物的表面张力为45mN/m以下，接触角为65°以下。
2.根据权利要求1所述的用于改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷的工艺液体组合物，其中，
所述用于改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷的工艺液体组合物由0.00001至0.1重量％的氟系表面活性剂，0.00001至1.0重量％的选自由三元醇衍生物、四元醇衍生物或它们的混合物所组成的组的物质，以及余量的水组成。
3.根据权利要求2所述的用于改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷的工艺液体组合物，其中，
所述工艺液体组合物由0.0001至0.1重量％的氟系表面活性剂，0.00001至1.0重量％的选自由三元醇衍生物、四元醇衍生物或它们的混合物所组成的组的物质，以及余量的水组成。
4.根据权利要求3所述的用于改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷的工艺液体组合物，其中，
所述工艺液体组合物由0.001至0.1重量％的氟系表面活性剂，0.00001至1.0重量％的选自由三元醇衍生物、四元醇衍生物或它们的混合物所组成的组的物质，以及余量的水组成。
5.根据权利要求4所述的用于改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷的工艺液体组合物，其中，
所述工艺液体组合物由0.001至0.1重量％的氟系表面活性剂，0.0001至1.0重量％的选自由三元醇衍生物、四元醇衍生物或它们的混合物所组成的组的物质，以及余量的水组成。
6.根据权利要求5所述的用于改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷的工艺液体组合物，其中，
所述工艺液体组合物由0.001至0.1重量％的氟系表面活性剂，0.001至1.0重量％的选自由三元醇衍生物、四元醇衍生物或它们的混合物所组成的组的物质，以及余量的水组成。
7.根据权利要求2所述的用于改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷的工艺液体组合物，其特征在于，
所述氟系表面活性剂选自由氟代丙烯羧酸酯、氟代烷基醚、氟代亚烷基醚、氟代烷基硫酸酯、氟代烷基磷酸酯、氟代丙烯酸共聚物、氟代共聚物、全氟酸、全氟羧酸盐、全氟磺酸盐或它们的混合物所组成的组。
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