[发明专利]用于散斑减少的堆叠的共焦脉冲展宽器系列

权利要求书

1.一种光学脉冲展宽器，所述光学脉冲展宽器被配置为接收激光束并且生成输出脉冲展宽激光束，所述光学脉冲展宽器包括：

第一级光学脉冲展宽器，包括两个或更多个反射镜，并且被配置为接收所述激光束的部分并且生成第一脉冲展宽激光束；

第二级光学脉冲展宽器，包括四个或更多个反射镜，并且被配置为接收所述第一脉冲展宽激光束的部分并且生成第二脉冲展宽激光束；以及

第三级光学脉冲展宽器，包括四个或更多个反射镜，并且被配置为接收第二脉冲展宽激光束的部分并且生成输出脉冲展宽激光束。

2.根据权利要求1所述的光学脉冲展宽器，其中所述第一级光学脉冲展宽器的所述两个或更多个反射镜、所述第二级光学脉冲展宽器的所述四个或更多个反射镜、以及所述第三级光学脉冲展宽器的所述四个或更多个反射镜包括凹面反射镜。

3.根据权利要求1所述的光学脉冲展宽器，其中所述第一级光学脉冲展宽器被配置为：通过使用所述第一级光学脉冲展宽器的所述两个或更多个反射镜来将所述激光束的所述部分反射四次，生成所述第一脉冲展宽激光束。

4.根据权利要求3所述的光学脉冲展宽器，其中所述第二级光学脉冲展宽器被配置为：通过将所述第一脉冲展宽激光束的所述部分反射十二次来生成所述第二脉冲展宽激光束，并且所述第三级光学脉冲展宽器被配置为：通过将所述第二脉冲展宽激光束的所述部分反射十二次来生成所述输出脉冲展宽激光束。

5.根据权利要求1所述的光学脉冲展宽器，其中所述第二级光学脉冲展宽器被配置为：通过使用所述第二级光学脉冲展宽器的所述四个或更多个反射镜来将所述第一脉冲展宽激光束的所述部分反射十二次，生成所述第二脉冲展宽激光束。

6.根据权利要求1所述的光学脉冲展宽器，其中所述第三级光学脉冲展宽器被配置为：通过使用所述第三级光学脉冲展宽器的所述四个或更多个反射镜来将所述第二脉冲展宽激光束的所述部分反射十二次，生成所述输出脉冲展宽激光束。

7.根据权利要求1所述的光学脉冲展宽器，还包括：

第一分束器，对应于所述第一级光学脉冲展宽器，并且被配置为：接收所述激光束，并且将所述激光束的所述部分引导到所述第一级光学脉冲展宽器的所述两个或更多个反射镜。

8.根据权利要求7所述的光学脉冲展宽器，其中所述第一分束器被定位为与所述第一光学脉冲展宽器的所述两个或更多个反射镜中的第一反射镜更靠近，并且其中所述第一分束器是D形分束器。

9.根据权利要求7所述的光学脉冲展宽器，其中所述第一分束器相对于所述两个或多个反射镜的曲率中心来定位，以使所述第一级光学脉冲展宽器展平，并且使所述激光束的所述部分能够在所述第一级光学脉冲展宽器中在同一平面内传播。

10.根据权利要求7所述的光学脉冲展宽器，还包括：

第二分束器，对应于所述第二级光学脉冲展宽器，并且被配置为：接收所述第一脉冲展宽激光束，并且将所述第一脉冲展宽激光束的所述部分引导到所述第二级光学脉冲展宽器的所述四个或更多个反射镜。

11.根据权利要求10所述的光学脉冲展宽器，其中所述第二分束器相对于所述第二级光学脉冲展宽器的所述四个或更多个反射镜的曲率中心来定位，以使所述第二级光学脉冲展宽器展平，并且使所述第一脉冲展宽激光束的所述部分能够在所述第二级光学脉冲展宽器中在同一平面内传播。

12.根据权利要求10所述的光学脉冲展宽器，还包括：

第三分束器，对应于所述第三级光学脉冲展宽器，并且被配置为：接收所述第二脉冲展宽激光束，并且将所述第二脉冲展宽激光束的所述部分引导到所述第三级光学脉冲展宽器的所述四个或更多个反射镜。