[发明专利]热和挥发性有机化合物检测系统

说明书

各种实施方案包括热和挥发性有机化合物检测系统。在一个示例中，热检测系统包括至少一个安装在例如本地电源箱(LPB)之类的设备外部的热传感器。热传感器具有检测区域以检测从LPB的至少一个面在一个或多个位置处发出的热量。热检测系统还包括在LPB内形成的高吸收率红外收集器(HAIC)，以收集由LPB内的部件产生的过多热量。过多热量与预定温度水平相关，并且收集的过多热量的温度由热传感器测量。热传感器和HAIC中的每一者都耦合到控制模块。公开了其他设备、设计和方法。

优先权主张

本申请要求于2019年10月25日申请的并且名称为“HEAT AND VOLATILE-ORGANIC-COMPOUNDS DETECTING SYSTEMS”的美国专利申请序列号62/926,289的优先权利益，其全部内容都通过引用合并于此。

技术领域

所公开的主题通常涉及检测局部体积内或附近(例如在部分封闭或完全封闭的容器内)的升高温度的领域。

在一个具体示例中，所公开的主题涉及例如本地电源箱(LPB)之类的检测环境中和附近的升高温度，所述本地电源箱(LPB)用于向各种装备和工具提供高压电力，所述装备和工具例如机械加工工具、加热和制冷装备、半导体工具(例如计量工具和加工工具)以及各种其他类型的装备和工具。更具体地，在各种实施方案中，所公开的主题涉及通过使用各种传感器对升高的温度的检测和对在容器和电源箱内排放的热产生的挥发性有机化合物(VOC)的检测中的至少一种的自动检测。

背景技术

许多类型的工具和装备的部件都可能由于各种问题而过热，这些问题包括部件选择不当、部件连接不当、工具或装备使用不当，甚至部件随着时间的推移出现故障或退化。部件过热可能对工具或装备以及在装备内形成或制造的工件或产品造成重大损坏。

例如，许多装备依靠本地电源箱(LPB)和其他设备为装备内的部件提供各种电压。例如，在半导体工业中，各种半导体处理工具具有一个或多个靠近工具的电源箱，以提供一定范围的电压。电源箱内通常有400个连接。对于各种半导体处理工具制造商而言，每年有数千甚至数万个电源箱出货，这对于LPB或设备中的多个连接中的一个连接可能导致每年多达数百万个发生故障的机会。连接故障可能意味着这些工具所在设施的部件冒烟、烧毁和/或熔化。故障部件会影响购买该工具的客户的信任以及每个客户的生产力。总体而言，故障部件可导致的典型成本是每次事件数万美元甚至数十万美元(以美元计)。除了每年与一个或多个LPB耦合的新工具外，每年在LPB改造或升级期间都会建立或返工数百个新连接，从而增加额外的风险。

LPB和其他设备内的温度升高可能是由许多问题引起的，例如接线连接器上的扭矩不当、接线连接器上的压接技术不当(过度压接和压接不足)、在LPB或设备的原始结构中使用的一个或多个不正确的电线规格、以及本领域普通技术人员理解的其他因素。LPB和其他设备的典型初始测试包括红外(IR)检测技术，该技术可以发现上面列出的一些但不是全部问题，因为例如，(1)随着时间的推移和在可变负载条件下会出现一些问题；(2)LPB等器件测试不一定要在满载条件下进行；以及(3)LPB和设备测试在工具运行期间没有连续进行。因此，同时期的测试技术估计只有大约67％有效。即便如此，当前的测试技术仍依赖于在现场重复测试工具，例如每六个月一次。因此，需要一种更有效的方法来基本实时地检测LPB和其他设备内的升高的温度。

这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的主题的背景的目的。当前指定的发明人的工作在其在此背景技术部分以及在提交申请时不能确定为现有技术的说明书的各方面中描述的范围内既不明确也不暗示地承认是针对本公开的现有技术。因此，提供本节中描述的信息是为了为技术人员提供以下公开主题的背景，不应将其视为公认的现有技术。因此，提供本节中描述的信息是为了向技术人员提供以下公开主题的背景，不应将其视为公认的现有技术。

发明内容