[发明专利]基于MEMS的气流系统

权利要求书

1.一种系统，包括：

孔板，其在其中具有至少一个孔口；

风扇元件，其构造成经历振动运动以驱动流体通过所述至少一个孔口；和

至少一个通道，响应于所述流体被驱动通过所述至少一个孔口，所述流体被抽吸通过所述至少一个通道。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，驱动所述流体通过所述孔口的所述振动运动提供靠近所述孔板的低压区域，响应于所述低压区域形成，所述流体被抽吸通过所述至少一个通道。

3.根据权利要求1所述的系统，还包括：

支撑结构，所述风扇元件包括多个边缘，所述多个边缘中的至少一个被锚定到所述支撑结构，使得所述多个边缘中的边缘自由振动。

4.根据权利要求3所述的系统，其中，所述通道的边界由所述风扇元件限定，其中，所述孔板靠近所述边缘。

5.根据权利要求4所述的系统，其中，所述流体基本上平行于所述风扇元件的表面流动。

6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述风扇元件包括多个锚定的边缘，使得所述风扇元件的中心部分经历所述振动运动。

7.根据权利要求6所述的系统，还包括：

喷射通道，所述流体在基本上垂直于所述喷射通道的方向上流过所述通道。

8.根据权利要求7所述的系统，其中，所述喷射通道的边缘由喷射通道壁形成，所述喷射通道壁在其中具有小孔，所述通道和所述喷射通道构造成使得所述流体被驱动通过所述小孔。

9.根据权利要求6所述的系统，还包括：

附加的风扇元件，其包括附加的多个锚定侧，使得所述附加的风扇元件的附加的中心部分经历附加的振动运动。

10.根据权利要求9所述的系统，其中，所述附加的风扇元件的所述附加的振动运动与所述风扇元件的所述振动运动异相。

11.一种系统，包括：

多个单元，所述多个单元中的每一个包括孔板、风扇元件和至少一个通道，所述孔板在其中具有至少一个孔口，所述风扇元件构造成经历振动运动以驱动流体通过所述至少一个孔口，响应于所述流体被驱动通过所述至少一个孔口，所述流体被抽吸通过所述至少一个通道。

12.根据权利要求11所述的系统，其中，驱动所述流体通过所述孔口的所述振动运动提供靠近所述孔板的低压区域，响应于所述低压区域形成，所述流体被抽吸通过所述至少一个通道。

13.根据权利要求11所述的系统，其中，所述多个单元中的每一个还包括：

支撑结构，所述风扇元件包括多个边缘，所述多个边缘中的至少一个被锚定到所述支撑结构，使得所述多个边缘中的边缘自由振动。

14.根据权利要求13所述的系统，其中，所述通道的边界由所述风扇元件限定，其中，所述孔板靠近所述边缘。

15.根据权利要求14所述的系统，其中，所述流体基本上平行于所述风扇元件的表面流动。

16.根据权利要求11所述的系统，其中，所述风扇元件包括多个锚定的边缘，使得所述风扇元件的中心部分经历所述振动运动。

17.根据权利要求16所述的系统，还包括：

喷射通道，所述流体在基本上垂直于所述喷射通道的方向上流过所述通道。

18.根据权利要求11所述的系统，其中，所述多个单元共用所述孔板。