[发明专利]钇或镧系金属前体物化合物、包含其的成膜组合物以及使用其形成含钇或镧系金属的膜的方法

权利要求书

1.一种含钇或镧系金属的前体化合物，其由如下化学式I表示：

[化学式I]

(R¹Cp)₂M[(CH₃)₂CH-N-C(CH₂CH₃)＝N-CH(CH₃)₂]；

在所述化学式I中，

M选自Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb和Lu，

R¹是正丙基(ⁿPr)或异丙基(ⁱPr)，

所述Cp是环戊二烯基。

2.根据权利要求1所述的含钇或镧系金属的前体化合物，其中所述含钇或镧系金属的前体化合物在常温下是液体。

3.根据权利要求1所述的含钇或镧系金属的前体化合物，其中所述含钇或镧系金属的前体化合物选自以下：

(ⁿPrCp)₂Y(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂La(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Ce(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Pr(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Nd(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Pm(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Sm(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Eu(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Gd(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Tb(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Dy(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Ho(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Er(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Tm(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Yb(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁿPrCp)₂Lu(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Y(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂La(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Ce(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Pr(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Nd(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Pm(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Sm(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Eu(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Gd(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Tb(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Dy(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Ho(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Er(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Tm(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)、(ⁱPrCp)₂Yb(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)以及(ⁱPrCp)₂Lu(ⁱPr-N-C(Et)＝N-ⁱPr)。