[发明专利]无PAG的正型化学增幅抗蚀剂组合物及使用其的方法在审
| 申请号： | 202080078107.1 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN114667486A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 工藤隆范;陈宏扬 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/022 | 分类号： | G03F7/022;G03F7/023 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 姜煌 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | pag 化学 增幅 抗蚀剂 组合 使用 方法 | ||
1.一种不含光致产酸剂(PAG)的抗蚀剂组合物，其包含：
(A)酚系树脂组分，其中该酚系树脂组分为酚醛清漆衍生物，该酚醛清漆衍生物包含：
(i)具有游离酚羟基部分的酚醛清漆重复单元，及
(ii)具有受酸可裂解缩醛部分保护的酚羟基部分的酚醛清漆重复单元，其中该酸可裂解缩醛部分为以下中的一或多者：
(a)单官能烷基缩醛部分，
(b)用产生光敏性非磺酸的光敏性重氮基萘醌磺酸酯(PAC)组分官能化的缩醛部分，该光敏性重氮基萘醌磺酸酯(PAC)组分包含2,1,5重氮基萘醌磺酸酯部分或其衍生物，
(c)双官能连接缩醛部分，其保护两个不同酚醛清漆聚合物链中的每一者上的羟基部分；
(B)产生光敏性非磺酸的光敏性(PAC)组分，该光敏性(PAC)组分包含2,1,5重氮基萘醌磺酸酯部分或其衍生物，
其中该PAC组分为以下中的一或多者：
(i)用PAC部分官能化的缩醛部分，及
(ii)游离PAC组分；及
(C)溶剂组分，
其中该组合物不含添加的光致产酸剂(PAG)。
2.一种不含光致产酸剂(PAG)的抗蚀剂组合物，其主要由以下组成：
(A)酚系树脂组分，其中该酚系树脂组分为酚醛清漆衍生物，该酚醛清漆衍生物包含：
(i)具有游离酚羟基部分的酚醛清漆重复单元，及
(ii)具有受酸可裂解缩醛部分保护的酚羟基部分的酚醛清漆重复单元，其中该酸可裂解缩醛部分为以下中的一或多者：
(a)单官能烷基缩醛部分，
(b)用PAC部分官能化的缩醛部分，
(c)双官能连接缩醛部分，其保护两个不同酚醛清漆聚合物链中的每一者上的羟基部分；
(B)产生光敏性非磺酸的光敏性(PAC)组分，该光敏性(PAC)组分包含2,1,5-重氮基萘醌磺酸酯部分或其衍生物，
其中该PAC组分为以下中的一或多者：
(i)用PAC部分官能化的缩醛部分，及
(ii)游离PAC组分；及
(C)溶剂组分，其中该组合物不含添加的光致产酸剂(PAG)。
3.根据权利要求1或2的组合物，其进一步包含酸淬灭剂、辅助树脂、塑化剂、表面整平剂及稳定剂中的一或多者。
4.一种不含光致产酸剂(PAG)的抗蚀剂组合物，其由以下组成：
(A)酚系树脂组分，其中该酚系树脂组分为酚醛清漆衍生物，该酚醛清漆衍生物包含：
(i)具有游离酚羟基部分的酚醛清漆重复单元，及
(ii)具有受酸可裂解缩醛部分保护的酚羟基部分的酚醛清漆重复单元，其中该酸可裂解缩醛部分为以下中的一或多者：
(a)单官能烷基缩醛部分，
(b)用PAC部分官能化的缩醛部分，
(c)双官能连接缩醛部分，其保护两个不同酚醛清漆聚合物链中的每一者上的羟基部分；
(B)产生光敏性非磺酸的光敏性(PAC)组分，该光敏性(PAC)组分包含2,1,5重氮基萘醌磺酸酯部分或其衍生物，
其中该PAC组分为以下中的一或多者：
(i)由产生光敏性非磺酸的光敏性2,1,5-重氮基萘醌磺酸酯(PAC)官能化的所述缩醛部分，及
(ii)游离PAC组分；及
(C)溶剂组分，其中该组合物不含添加的光致产酸剂(PAG)。
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