[发明专利]各向异性导电片、电气检查装置及电气检查方法

说明书

本发明的各向异性导电片具有绝缘层和多个导电层。绝缘层具有位于厚度方向上的一侧的第一面、位于另一侧的第二面、以及将所述第一面和所述第二面之间贯穿的多个通孔，且具有弹性。导电层配置于多个通孔的各自的内壁面。绝缘层具有由弹性体组合物的交联物制成的弹性体层、以及由玻璃化转变温度比所述弹性体组合物的交联物高的耐热性树脂组合物制成的耐热性树脂层。

技术领域

本发明涉及各向异性导电片、电气检查装置及电气检查方法。

背景技术

对于搭载于电子产品的印刷电路板等半导体器件，通常进行电气检查。一般地，通过使电气检查装置的(具有电极的)基板与半导体器件等作为检查对象的端子电接触，并读取在检查对象的端子间施加规定的电压时的电流等方法进行电气检查。而且，为了可靠地进行电气检查装置的基板的电极与检查对象的端子之间的电接触，在电气检查装置的基板与检查对象之间配置各向异性导电片。

各向异性导电片是在厚度方向上具有导电性且在面方向上具有绝缘性的片，被作为电气检查中的探测器(接触器)使用。尤其是，为了可靠地进行电气检查装置的基板与检查对象之间的电连接，需要在厚度方向上弹性变形的各向异性导电片。

作为在厚度方向上弹性变形的各向异性导电片，已知一种电连接器(例如参照专利文献1)，其具有：具有在厚度方向上贯穿的多个通孔的弹性体(例如硅橡胶片)、和接合于通孔的内壁面的中空状的多个导电部件。另外，已知一种各向异性导电片(例如参照专利文献2和3)，其具有：具有在厚度方向上贯穿的多个通孔的片(聚烯烃的多孔片、PEFE膜)、和通过电镀形成于通孔的内壁面的多个导通部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2018/212277号

专利文献2：日本特开2007-220512号公报

专利文献3：日本特开2010-153263号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在专利文献1中，由于绝缘层由硅橡胶制成，所以存在各向异性导电片过于柔软而无刚度、操作性差的问题。另外，由于硅橡胶的线膨胀系数(CTE)较高，因此，在电气检查中被加热时，也存在多个导电通路的间距易于变化的问题。另一方面，在专利文献2和3中，由于绝缘层不包括弹性体，因此，厚度方向上的变形(弹性变形)不够充分，在电气检查装置的基板与检查对象之间无法进行足够的电连接。

另外，专利文献1～3中示出的各向异性导电片虽然在通孔的内壁面具有导电层，但是在片的表面不具有导电层，因此在电气检查装置的基板与检查对象之间无法进行足够的电连接。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其第一目的在于，提供能够在厚度方向上充分地变形且具有良好的操作性，并可减少由热导致的多个导电通路间的间距的变动的各向异性导电片、电气检查装置及电气检查方法。另外，其第二目的在于，提供能够在厚度方向上充分地变形且具有低电阻值，并能够在电气检查装置的基板与检查对象之间进行足够的电连接的各向异性导电片。

解决问题的方案

上述问题能够通过以下结构来解决。

本发明的第一个形态的各向异性导电片具有：绝缘层，具有位于厚度方向上的一侧的第一面、位于另一侧的第二面、以及将所述第一面和所述第二面之间贯穿的多个通孔，所述绝缘层具有弹性；以及多个导电层，配置于所述多个通孔的各自的内壁面，所述绝缘层具有由弹性体组合物的交联物制成的弹性体层；以及由玻璃化转变温度比所述弹性体组合物的交联物高的耐热性树脂组合物制成的耐热性树脂层。