[发明专利]可调谐激光设备、调谐激光束的方法、干涉仪系统和光刻装置

权利要求书

1.一种可调谐激光设备，包括：

激光源，用于提供具有源光频率的激光束，

调谐设备，用于调谐具有所述源光频率的所述激光束，以提供具有调谐光频率的激光束，

输入设备，用于向所述调谐设备提供输入信号，以及

前馈设备，用于提供前馈信号，所述前馈信号被设置为补偿由所述调谐设备引起的干扰效应。

2.根据权利要求1所述的可调谐激光设备，其中所述输入信号是周期性连续信号。

3.根据权利要求1或2所述的可调谐激光设备，其中所述输入信号是正弦信号。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的可调谐激光设备，其中所述前馈信号被添加到所述输入信号，所述输入信号被馈入到所述调谐设备中。

5.根据权利要求1至4所述的可调谐激光设备，其中所述前馈信号是被馈入到所述激光源中的输入电流信号的一部分。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的可调谐激光设备，其中所述调谐设备包括连接到反射镜设备的压电致动器。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的可调谐激光设备，其中所述可调谐激光设备是外腔激光器。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的可调谐激光设备，其中所述前馈设备和所述输入设备被集成在单个设备中，所述单个设备被设置为向所述调谐设备提供组合的输入和前馈信号。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的可调谐激光设备，其中所述可调谐激光设备还包括反馈设备以提供反馈信号，来补偿由所述调谐设备引起的干扰效应。

10.一种用于调谐可调谐激光设备的激光束的方法，包括：

提供来自激光源的具有源光频率的激光束，

利用调谐设备调谐具有所述源光频率的所述激光束，以提供具有调谐光频率的激光束，以及

提供前馈信号，所述前馈信号被设置为补偿由所述调谐设备引起的干扰效应，

其中所述前馈信号是基于以下项的比较而被确定的：具有所述调谐光频率的所述激光束的测量的调谐轨迹与具有所述调谐光频率的所述激光束的期望的调谐轨迹。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述方法包括重复基于以下项的比较的所述前馈信号的确定：具有所述调谐光频率的所述激光束的测量的调谐轨迹与具有所述调谐光频率的所述激光束的期望的调谐轨迹。

12.根据权利要求10或11所述的方法，其中所述前馈信号作为调谐信号被馈入到所述调谐设备和/或作为输入电流信号被馈入到所述激光源。

13.根据权利要求10至12中任一项所述的方法，其中所述可调谐激光设备还包括反馈设备以提供反馈信号，来补偿由所述调谐设备引起的干扰效应。

14.一种用于确定可移动对象的位置的干涉仪系统，包括前述权利要求中任一项所述的可调谐激光设备。

15.一种光刻装置，包括：

掩模支撑件，被构造成支撑具有图案的图案形成设备，

基板支撑件，被构造成支撑基板；

投影系统，被布置成将所述图案投影到所述基板上；并且

其中所述掩模支撑件、所述基板支撑件和所述投影系统中的一者包括可移动对象，其中所述光刻装置还包括根据权利要求14所述的用以确定所述可移动对象的位置的干涉仪系统。