[发明专利]布局方法及管理系统在审
申请号: | 202080079080.8 | 申请日: | 2020-11-04 |
公开(公告)号: | CN114761959A | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 井上圣子;中里谅;福留贵浩 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | G06F30/394 | 分类号: | G06F30/394;G06F30/27;G06F30/398;H01L21/82 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 刘倜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 布局 方法 管理 系统 | ||
1.一种布局方法,包括如下步骤:
在包括第一端子、第二端子、第三端子、第四端子、第一布线及第二布线的电路中,
生成通过所述第一布线连接所述第一端子和所述第三端子的布局的步骤;
生成通过所述第二布线连接所述第二端子和所述第四端子的布局的步骤;
计算出所述第一布线的第一布线电阻的步骤;
计算出所述第二布线的第二布线电阻的步骤;以及
以使所述第一布线电阻和第二布线电阻相等的方式自动生成所述电路的所述第一布线和所述第二布线的所述布局的步骤。
2.根据权利要求1所述的布局方法,
其中所述电路还包括第三布线,
该方法包括如下步骤:
生成通过包括触点的所述第三布线连接所述第一端子和所述第三端子的布局的步骤;
计算出所述第三布线的第三布线电阻的步骤;
通过以使所述第一布线电阻和所述第三布线电阻相等的方式改变所述第一布线的形状或位置的布局来改变所述第一布线电阻的大小的步骤;以及
以使所述第一布线电阻和所述第三布线电阻相等的方式自动生成所述电路的所述第一布线和所述第三布线的所述布局的步骤。
3.一种在基板上自动生成电路布局的管理系统,
所述管理系统包括学习模型,并包括如下步骤:
所述学习模型学习包括制造装置的面内分布的测量数据的步骤;以及
将所述电路的布局提供给所述学习模型,所述学习模型将所述电路的布局自动配置在所述基板上的步骤。
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