[发明专利]用于微致动器的装置，以及配备有该装置的微致动器

权利要求书

1.用于微致动器的装置，包括

-主体(110),

-两个端子构件(20、22)，其以关节(136、138；236、238)式连结在主体(110)上，位于主体的一侧，

-两个彼此面对的可变形碗形壁(120、122)，布置成容纳致动器(30)，这些壁(120、122)的位于一侧的两个相应的第一边缘(1202、1222)被紧固(1264)在主体(110)上，而这些壁(120、122)的位于另一侧的两个相应的第二边缘(1204、1224)在致动器(30)的作用下连续移动以使壁(120、122)变形,

-该运动由终止于两个相应端子构件(20、22)的两个臂(132、134)传递。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，碗形壁(120、122)各自具有相应的底部(1200、1220)，致动器(30)支承抵靠在所述底部(1200、1220)上。

3.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，两个端子构件(20、22)通过相应的杆(1360、1362、1380、1382；2360、2380)关节式连结在主体(110)上。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，两个端子构件(20、22)通过两对相应的杆(1360、1362；1380、1382)关节式连结在主体(110)上，所述成对的杆基本上平行并且具有相同的长度。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，杆(1360、1362、1380、1382)在端子构件(20、22)侧的端部(1322、1342)基本对齐。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的装置，其特征在于，致动器(30)的变形是抵靠壁(120、122)的两个底部(1200、1220)的纵向膨胀或纵向收缩，

其中致动器(30)抵靠两个底部(1200、1220)的膨胀驱动第一边缘(1202、1222)和第二边缘(1204、1224)一起靠近，由此第二边缘(1204、1224)通过臂(132、134)对称地驱动端子构件(20、22)相对一起靠近，以及

其中致动器(30)抵靠两个底部(1200、1220)的收缩驱动第一边缘(1202、1222)和第二边缘(1204、1224)分开，由此第二边缘(1204、1224)通过臂(132、134)对称地驱动端子构件(20、22)相对分开。

7.根据从属于权利要求4或5中的任一项时的权利要求6所述的装置，其特征在于，端子构件的相对一起靠近和端子构件的相对分开通常沿线性行程(1300)表示。

8.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，两个碗形壁(120、122)通常形成菱形、六边形或椭圆形。

9.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，装置(100)由单件制成。

10.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，装置(100)由成型板形成。

11.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，装置具有大于30:1的放大因子。

12.根据权利要求2至11中任一项所述的装置，其特征在于，杆(1360、1362、1380、1382；2360、2380)和/或臂(132、134)在它们的一个或多个端部(1320、1322、1340、1342；2362、2382)处变细。

13.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，微致动器是微技术夹具，并且端子构件(20、22)各自包括指状物载体和安装在所述指状物载体上的指状物。