[发明专利]感光性组合物、固化物及固化物的制造方法在审

专利信息
申请号: 202080083036.4 申请日: 2020-11-20
公开(公告)号: CN114746808A 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 千坂博树;野田国宏;盐田大 申请(专利权)人: 东京应化工业株式会社
主分类号: G03F7/031 分类号: G03F7/031;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/20
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 杨宏军;焦成美
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 感光性 组合 固化 制造 方法
【权利要求书】:

1.感光性组合物,其为包含基材成分(A)和光聚合引发剂(B)的感光性组合物,

所述基材成分(A)包含树脂(A1)及光聚合性单体(A2)中的至少一者,

在所述基材成分(A)不包含所述光聚合性单体(A2)的情况下,所述树脂(A1)包含具有烯键式不饱和双键的光聚合性树脂(A1-1),

所述光聚合引发剂(B)组合包含氧化膦化合物(B1)和肟酯化合物(B2),

相对于所述氧化膦化合物(B1)的质量W1与所述肟酯化合物(B2)的质量W2的合计而言,所述肟酯化合物(B2)的质量W2的质量比率为35质量%以上。

2.如权利要求1所述的感光性组合物,其中,所述肟酯化合物(B2)不包含在吸收光谱中在320nm以上且低于400nm的波长区域中具有峰、并且在400nm以上的波长区域中的任意波长处显示10以上的克吸光系数的化合物。

3.如权利要求1或2所述的感光性组合物,其中,所述肟酯化合物(B2)为下述式(1)表示的化合物,

[化学式1]

式(1)中,Rb1为氢原子、硝基或1价有机基团,Rb2及Rb3各自为可具有取代基的链状烷基、可具有取代基的环状有机基团、或氢原子,Rb2与Rb3可以相互键合而形成环,Rb4为1价有机基团,Rb5为氢原子、可具有取代基的碳原子数1以上11以下的烷基、或可具有取代基的芳基,n1为0以上4以下的整数,n2为0或1。

4.如权利要求1~3中任一项所述的感光性组合物,所述基材成分(A)包含所述树脂(A1)及所述光聚合性单体(A2)。

5.如权利要求1~4中任一项所述的感光性组合物,其中,所述基材成分(A)包含所述树脂(A1),

所述树脂(A1)具有碱溶性。

6.权利要求1~5中任一项所述的感光性组合物的固化物。

7.固化物的制造方法,其包括:

根据要形成的固化物的形状而将权利要求1~5中任一项所述的感光性组合物成型;以及

对经成型的所述感光性组合物进行曝光。

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