[发明专利]感光性组合物、固化物及固化物的制造方法在审
申请号: | 202080083036.4 | 申请日: | 2020-11-20 |
公开(公告)号: | CN114746808A | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 千坂博树;野田国宏;盐田大 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/031 | 分类号: | G03F7/031;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/20 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军;焦成美 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 组合 固化 制造 方法 | ||
1.感光性组合物,其为包含基材成分(A)和光聚合引发剂(B)的感光性组合物,
所述基材成分(A)包含树脂(A1)及光聚合性单体(A2)中的至少一者,
在所述基材成分(A)不包含所述光聚合性单体(A2)的情况下,所述树脂(A1)包含具有烯键式不饱和双键的光聚合性树脂(A1-1),
所述光聚合引发剂(B)组合包含氧化膦化合物(B1)和肟酯化合物(B2),
相对于所述氧化膦化合物(B1)的质量W1与所述肟酯化合物(B2)的质量W2的合计而言,所述肟酯化合物(B2)的质量W2的质量比率为35质量%以上。
2.如权利要求1所述的感光性组合物,其中,所述肟酯化合物(B2)不包含在吸收光谱中在320nm以上且低于400nm的波长区域中具有峰、并且在400nm以上的波长区域中的任意波长处显示10以上的克吸光系数的化合物。
3.如权利要求1或2所述的感光性组合物,其中,所述肟酯化合物(B2)为下述式(1)表示的化合物,
[化学式1]
式(1)中,Rb1为氢原子、硝基或1价有机基团,Rb2及Rb3各自为可具有取代基的链状烷基、可具有取代基的环状有机基团、或氢原子,Rb2与Rb3可以相互键合而形成环,Rb4为1价有机基团,Rb5为氢原子、可具有取代基的碳原子数1以上11以下的烷基、或可具有取代基的芳基,n1为0以上4以下的整数,n2为0或1。
4.如权利要求1~3中任一项所述的感光性组合物,所述基材成分(A)包含所述树脂(A1)及所述光聚合性单体(A2)。
5.如权利要求1~4中任一项所述的感光性组合物,其中,所述基材成分(A)包含所述树脂(A1),
所述树脂(A1)具有碱溶性。
6.权利要求1~5中任一项所述的感光性组合物的固化物。
7.固化物的制造方法,其包括:
根据要形成的固化物的形状而将权利要求1~5中任一项所述的感光性组合物成型;以及
对经成型的所述感光性组合物进行曝光。
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