[发明专利]设置系统、设置方法和程序

说明书

本发明要克服的问题是设置适用于多品种小批量生产的外观检查的判定阈值。根据本发明的设置系统(10)包括提取单元(11)、计算单元(12)和呈现单元(显示装置(4))。提取单元(11)获取涵盖无缺陷产品样品的无缺陷产品图像与参考模型之间的第一差分、以及涵盖缺陷产品样品的缺陷产品图像与参考模型之间的第二差分。提取单元(11)提取满足特定条件的第一差分或第二差分作为潜在缺陷。计算单元(12)针对提取单元(11)所提取的潜在缺陷计算至少一个特征量。计算单元(12)将从缺陷产品样品中提取的潜在缺陷的特征量中的具有第N最大值的特征量指定为指标。呈现单元呈现计算单元(12)所指定的指标。

技术领域

本发明通常涉及设置系统、设置方法和程序。更特别地，本发明涉及供在用于检查对象的外观的外观检查机中使用的设置系统、设置方法和程序。

背景技术

专利文献1公开了用于检查被测物(对象)的表面外观的外观检查机。专利文献1的外观检查机基于被测物上的多个点的差分量数据的统计量来确定阈值(判定阈值)。专利文献2公开了一种缺陷检查设备，其将被测物上的潜在缺陷的分布标绘在图形(graph)上以设置阈值(判定阈值)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平4-107946

专利文献2：WO 2016/092614 A1

专利文献3：日本特开2007-3326

专利文献4：WO 2015/087440 A1

发明内容

通常，外观检查机需要用于将被测物判断为缺陷产品的阈值参数。需要针对混合包括源自缺陷产品和无缺陷产品这两者的潜在缺陷样品的复杂分布(诸如后面将说明的图3A所示的分布等)适当地设置该参数。特别地，在多品种小批量生产的情况下，检查对象频繁地改变。因此，在这种情况下，将需要更频繁地设置该参数。

专利文献1的外观检查机被设计为应用于少品种大批量生产，因此需要大量样品和工时来确定阈值。因此，专利文献1的外观检查机不适用于多品种小批量生产的外观检查。

专利文献2的缺陷检查设备需要预先选择性地获取与整个作业中的每个潜在缺陷样品有关的缺陷信息，即，预先判断给定产品是否应被视为缺陷产品，由此给作业人员带来沉重的负担。

本发明的目的是提供一种设置系统、设置方法和程序，其全部都被配置或设计为设置适用于多品种小批量生产的外观检查的判定阈值。

根据本发明的一方面的设置系统被设计用在用于检查多个对象的外观的外观检查机中。该设置系统包括提取单元、计算单元和呈现单元。提取单元获取无缺陷产品图像与参考模型之间的第一差分，该无缺陷产品图像涵盖多个对象中的将被分类为无缺陷产品的无缺陷产品样品。提取单元还获取缺陷产品图像与参考模型之间的第二差分，该缺陷产品图像涵盖多个对象中的将被分类为缺陷产品的缺陷产品样品。提取单元提取满足特定条件的第一差分或第二差分作为潜在缺陷。计算单元针对提取单元所提取的潜在缺陷计算至少一个特征量。在缺陷产品样品包括多个缺陷产品样品、并且从这多个缺陷产品样品中提取的潜在缺陷的各个特征量具有多个不同值的情况下，计算单元将这些特征量中的具有这多个不同值中的第N最大值(其中N是自然数)的至少一个特征量指定为指标。呈现单元呈现计算单元所指定的指标。