[发明专利]压电振动元件、压电振子以及电子装置

权利要求书

1.一种压电振动元件，其中，具备：

压电片，具有主面；

激励电极，设置于上述压电片的主面；以及

连接电极，设置于上述压电片的主面且与上述激励电极电连接，

在俯视上述压电片的主面时，在上述压电片中的上述激励电极与上述连接电极之间的区域形成有贯通孔，

上述贯通孔中的上述激励电极侧的内壁具有至少四个倾斜面。

2.根据权利要求1所述的压电振动元件，其中，

上述贯通孔中的上述激励电极侧的内壁构成为相对于与上述压电片的主面平行的面面对称。

3.根据权利要求1或者2所述的压电振动元件，其中，

上述压电片的设置有上述激励电极的部分的厚度比上述压电片中的上述激励电极与上述连接电极之间的区域的部分的厚度大。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的压电振动元件，其中，

上述贯通孔中的上述激励电极侧的内壁具有第一倾斜面和第二倾斜面，上述第一倾斜面以上述贯通孔的贯通方向的大致中央为起点以角度α从与上述压电片的主面平行的面倾斜，上述第二倾斜面与上述第一倾斜面连接并以角度β从与上述压电片的主面平行的面倾斜，

上述角度α比上述角度大。

5.根据权利要求4所述的压电振动元件，其中，

距离T1比距离T2小，上述距离T1是从上述贯通孔的大致中央到上述第一倾斜面与上述第二倾斜面的连接部的、沿着与上述压电片的主面交叉的方向的距离，上述距离T2是从上述第一倾斜面与上述第二倾斜面的连接部到上述第二倾斜面与上述压电片中的上述激励电极与上述连接电极之间的主面的连接部的、沿着与上述压电片的主面交叉的方向的距离。

6.根据权利要求5所述的压电振动元件，其中，

上述角度α以及上述角度β具有32°＜α＜80°并且β＝32°的关系。

7.根据权利要求6所述的压电振动元件，其中，

上述角度α具有40°＜α的关系。

8.根据权利要求6或者7所述的压电振动元件，其中，

上述角度α具有α＜65°的关系。

9.根据权利要求6～8中任意一项所述的压电振动元件，其中，

距离T3以及上述距离T2具有0.56≤T2/T3≤0.83的关系，上述距离T3是从上述贯通孔的大致中央到上述第二倾斜面与上述压电片中的上述激励电极与上述连接电极之间的主面的连接部的、沿着与上述压电片的主面交叉的方向的距离。

10.根据权利要求4～8中任意一项所述的压电振动元件，其中，

上述贯通孔中的上述连接电极侧的内壁具有以上述贯通孔的贯通方向的大致中央为起点以角度γ从与上述压电片的主面平行的面倾斜的倾斜面，

上述角度γ比上述角度α大。

11.根据权利要求1～10中任意一项所述的压电振动元件，其中，

上述贯通孔中的上述激励电极侧的内壁比上述贯通孔中的上述连接电极侧的内壁突出。

12.一种压电振动元件，其中，具备：

压电片，具有主面；

激励电极，设置于上述压电片的主面；以及

连接电极，设置于上述压电片的主面且与上述激励电极电连接，

在俯视上述压电片的主面时，在上述压电片中的上述激励电极与上述连接电极之间的区域形成有贯通孔，

上述贯通孔的上述激励电极侧的内壁比上述贯通孔的上述连接电极侧的内壁突出。

13.根据权利要求1～12中任意一项所述的压电振动元件，其中，

上述压电片是石英片。

14.根据权利要求13所述的压电振动元件，其中，

上述石英片是AT切割石英片。