[发明专利]气体放电光源中的预测装置

权利要求书

1.一种装置，包括：

决策模块，被配置为：

接收与发射光束的光学系统的性能状况有关的性能度量；

基于所述性能度量和预定学习模型，估计所提出的对所述光学系统的改变的有效性；以及

如果估计所提出的对所述光学系统的改变是有效的，则向所述光学系统输出改变命令。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述决策模块被配置为：如果所述决策模块估计所提出的对所述光学系统的改变是无效的，则向所述光学系统输出维持命令。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述决策模块被配置为：通过确定所述光束的所述性能状况是否被改善，估计所提出的所述改变的有效性。

4.根据权利要求3所述的装置，其中确定所述光束的所述性能状况是否被改善包括：确定所述光束质量的误差率是否被降低。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述性能状况包括以下项中的一项或多项：所述光束的光束质量误差的类型，在一定时段内所述气体混合物中发生放电事件的次数，与所述光束的光束质量的误差相关联的一个或多个故障，所述光束的光束质量，所述光束的光束质量的误差，与所述光束的操作参数或特性相关联的误差事件，相对于故障标记对每个误差事件的分析，以及所述光学系统的配置的改变。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述决策模块被配置为：在实现对所述光学系统的改变之前，估计所提出的所述改变的有效性。

7.根据权利要求1所述的装置，还包括接口模块，所述接口模块与所述决策模块通信，所述接口模块提供所述性能度量，其中所述接口模块包括多个光束质量检测模块，所述多个光束质量检测模块包括：

一个或多个光谱特征检测模块，每个光谱特征检测模块被配置为：检测所述光束的相应光谱特征的误差，并且产生指示所述光束的相应光谱特征误差的误差事件信号；以及

能量检测模块，被配置为：检测所述光束的能量的误差，并且产生指示所述光束的能量误差的误差事件信号；

其中所述光谱特征包括所述光束的带宽或波长，并且其中所述性能度量是基于所述相应光谱特征和能量的误差事件而产生的。

8.根据权利要求7所述的装置，其中所述接口模块包括：

放电计数检测模块，被配置为：检测所述光学系统的气体混合物中的放电事件的发生，并且产生指示在一定时段内的放电事件的计数的信号，其中所述性能度量包括与从所述放电计数检测模块产生的所述信号有关的数据。

9.根据权利要求8所述的装置，其中所述时段从上一次所述气体混合物被再填充开始测量，或者从包含所述气体混合物的一个或多个腔室被添加到所述光学系统开始测量。

10.根据权利要求7所述的装置，其中所述接口模块包括：

故障标记模块，被配置为：相对于故障标记的集合，分析每个光束质量误差事件，并且产生将所述光束质量误差事件分类为已知故障标记的似然得分；

其中所述性能度量包括与来自所述故障标记模块的输出有关的数据。

11.根据权利要求1所述的装置，其中所述预定学习模型接收所述性能度量作为输入，并且输出所述估计。

12.根据权利要求1所述的装置，其中所述预定学习模型是支持向量机。

13.根据权利要求12所述的装置，其中所述预定学习模型包括分离的超平面，所述超平面将所述性能度量分类为是或否，其中是分类指示所提出的所述改变是有效的，并且否分类指示所提出的所述改变不是有效的。

14.根据权利要求1所述的装置，其中所述预定学习模型基于所述光学系统的类型、配置和/或年龄来构建。