[发明专利]谐振器及其制备方法、滤波器、电子设备在审
| 申请号： | 202080105371.X | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN116235411A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 侯航天;杜波;刘鹏;高宗智 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 刘金玲 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 谐振器 及其 制备 方法 滤波器 电子设备 | ||
【说明书】：
一种谐振器及其制备方法、滤波器、电子设备，该谐振器包括依次堆叠设置的衬底(3)、布拉格反射层(2)以及压电层(1)；压电层(1)朝向布拉格反射层(2)的表面设置有第一电极(11)，压电层(1)背离布拉格反射层(2)的表面设置有第二电极(12)；第二电极(12)背离压电层(1)的表面设置有的边界环(13)，谐振器具有第一谐振区域(A1)和与边界环(13)对应的第二谐振区域(A2)；沿堆叠方向，布拉格反射层(2)包括低声阻结构(21)以及埋设于低声阳结构(21)中的第一高声阻结构(22)；第一高声阻结构(22)设置有与第二谐振区域(A2)对应的不连续性结构(D，F)。通过合理设计第一高声阳结构(22)，可以减弱边界环(13)产生的边界模式谐波影响，保持谐振器的高品质因子；此外，第一高声阻结构(22)的制作工艺实现可行性强。
PCT国内申请，说明书已公开。
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