[发明专利]磁固定件、基板支撑组件和用于将边缘支撑框架固定到工作台框架的方法

权利要求书

1.一种用于将边缘支撑框架固定到沉积设备的工作台框架的磁固定件，所述磁固定件包括：

第一构件，所述第一构件包括磁体，

第二构件，所述第二构件包括磁元件，其中

所述第一构件和所述第二构件各自耦接到所述工作台框架和所述边缘支撑框架中的至少一者，其中在所述第一构件与所述第二构件之间的磁力被构造为将所述边缘支撑框架固定到所述工作台框架。

2.根据权利要求1所述的磁固定件，其中所述磁体包括永磁体。

3.根据权利要求1或2所述的磁固定件，其中所述磁元件包含铁磁材料。

4.根据前述权利要求中任一项所述的磁固定件，其中所述第一构件包括用于容纳所述磁体的接触块，其中当所述边缘支撑框架被施加到所述工作台框架时，所述接触块接触所述边缘支撑框架。

5.根据前述权利要求中任一项所述的磁固定件，其中所述第一构件包括磁体外壳，其中所述磁体外壳将所述磁体固定在所述第一构件内，并且其中所述磁体外壳限制所述磁体在所述第一构件内的轴向运动和径向运动。

6.根据权利要求4所述的磁固定件，其中所述磁体外壳设置在固持器内，并且其中所述固持器根据以下一者或多者进行构造：

-所述固持器设置在所述接触块内；

-所述固持器具有开口，所述开口用于在所述开口中设置所述磁体外壳，所述开口在面向所述工作台框架的轴向方向上敞开并在面向所述边缘支撑框架的轴向方向上闭合；

-所述固持器被构造用于提供一个或多个紧固元件以用于将所述第一构件耦接到所述工作台框架；和

-所述固持器被构造用于在轴向方向上将所述磁体外壳压靠在所述接触块上。

7.根据权利要求6所述的磁固定件，所述磁固定件包括在所述磁体外壳与所述接触块之间的弹性元件，其中

所述弹性元件被构造用于被压缩在所述磁体外壳与所述接触块之间，并且其中

所述弹性元件被构造用于当所述弹性元件被压缩时沿所述轴向方向在所述磁体外壳与所述固持器之间提供力。

8.根据权利要求7所述的磁固定件，其中所述弹性元件是设置在所述磁体外壳内的凹槽内的O形环，其中

所述凹槽设置在所述磁体壳体的邻近所述接触块的表面内。

9.根据前述权利要求中任一项所述的磁固定件，其中所述磁元件至少部分地是盘形的。

10.根据前述权利要求中任一项所述的磁固定件，其中所述第二构件设置在所述边缘支撑框架中的凹陷部内。

11.一种基板支撑组件，包括：

工作台主体；

工作台框架，所述工作台框架耦接到所述工作台主体；

边缘支撑框架，所述边缘支撑框架被支撑成可相对于所述工作台框架移动并具有多个凹陷部；和

多个磁固定件，所述多个磁固定件包括：

多个第一构件，所述多个第一构件包括磁体，

多个第二构件，所述多个第二构件包括磁元件，其中所述第一构件和所述第二构件中的至少一者设置在所述多个凹陷部中。

12.根据权利要求11所述的基板支撑组件，所述基板支撑组件包括多个升降杆以用于相对于所述工作台框架可逆地提升和/或下降所述边缘支撑框架，其中

提升所述边缘支撑框架在所述工作台框架与所述边缘支撑框架之间分离所述多个磁固定件，并且其中

下降所述边缘支撑框架将所述边缘支撑框架施加到所述工作台框架，使得形成所述多个磁固定件。

13.根据权利要求11或12中任一项所述的基板支撑组件，其中所述工作台框架和所述边缘支撑框架设置在沉积设备的真空腔室内。