[发明专利]发光器件及其制备方法在审
申请号: | 202080106894.6 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN116438667A | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 程凯 | 申请(专利权)人: | 苏州晶湛半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/46 | 分类号: | H01L33/46 |
代理公司: | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人: | 乔冠男 |
地址: | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 器件 及其 制备 方法 | ||
一种发光器件及发光器件的制备方法。该发光器件的制备方法包括:提供一外延基底(1),所述外延基底(1)具有第一凹陷部(101),所述第一凹陷部(101)的内表面为曲面;在所述外延基底(1)上外延生长发光结构层(2),所述发光结构层(2)包括相对的第一表面(204)与第二表面(205),所述第二表面(205)朝所述第一凹陷部(101)凸起;在所述第一表面(204)形成第一反射镜层(3);去除所述外延基底(1),形成覆盖所述第二表面(205)的第二反射镜层(8)。本方法能够形成曲面谐振腔。
PCT国内申请,说明书已公开。
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