[发明专利]一种自动分拣上下料结构在审
申请号: | 202110000397.4 | 申请日: | 2021-01-03 |
公开(公告)号: | CN112687589A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 周生全;林志阳;王育平;魏竣宏;陈嘉劼;郑明全 | 申请(专利权)人: | 厦门特仪科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;B07C5/02;B07C5/36;B07C5/38 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 361000 福建省厦门市厦*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 分拣 上下 结构 | ||
本发明涉及半导体晶元片检测领域,特别涉及一种自动分拣上下料结构;一种自动分拣上下料结构包括进料端、分拣单元、多个承载构件、运输装置、出料端和流水线;料件在所述流水线上经过所述进料端传输至检测装置检测后,再经所述分拣单元进行分拣后,进入所述承载构件;所述承载构件通过所述运输装置与所述出料端连接;所述出料端设置于所述进料端相邻一侧或同一侧;通过仅设置一处出料端,出料端设置于进料端相邻一侧或同一侧,解决了分拣系统的承载装置分左右两侧收集区,工作人员需要左右两侧进行收集工作,增加工作人员的工作强度,影响操作和效率的问题。
技术领域
本发明涉及半导体晶元片检测领域,特别涉及一种自动分拣上下料结构。
背景技术
目前,半导体行业对自动化检测的要求越来越高,蓝宝石和碳化硅衬底作为晶元片的一个重要的组成部分,其质量直接决定了晶元的使用质量。因此,蓝宝石和碳化硅衬底的不良检测是生产过程中的一道必不可少的程序。
CN101648186B的专利《具承载装置搬移装置的太阳能晶圆分类系统》,申请公布日为2013.05.15,公开了一种具承载装置搬移装置的太阳能晶圆分类系统,该分类系统包含:形成有复数承载位置的基座;设置于基座且供传送汲取太阳能晶圆的传送汲取装置;复数置于承载位置以承接太阳能晶圆的承载装置;具有预定端部位置并供堆栈及升降复数承载装置的供应装置;具有一个预定收纳位置并供堆栈及移动复数承载装置的收纳装置;搬移承载装置的搬移装置。该发明针对部分频繁出现的晶圆分类景况,无需停机更换承载装置,仅需调整与现有测试机台的相关接口,即可大幅提升原有机台的自动化效能。
然而,上述系统的承载装置分左右两侧收集区,工作人员需要左右两侧进行收集工作,增加工作人员的工作强度,影响操作和效率。
发明内容
为解决分拣系统的承载装置分左右两侧收集区,工作人员需要左右两侧进行收集工作,增加工作人员的工作强度,影响操作和效率的问题。
本发明提供的一种自动分拣上下料结构,包括进料端、分拣单元、多个承载构件、运输装置、出料端和流水线;
料件在所述流水线上经过所述进料端传输至检测装置检测后,再经所述分拣单元进行分拣后,进入所述承载构件;
所述承载构件通过所述运输装置与所述出料端连接;
所述出料端设置于所述进料端相邻一侧或同一侧。
优选的,所述出料端设有多个出料口。
优选的,所述流水线为滚筒式或皮带式。
优选的,所述运输装置为机械手模组或皮带式流水线或直线电机。
优选的,所述运输装置连接有运输装置驱动机构。
优选的,多个所述承载构件对称设置于所述分拣单元两侧;所述承载构件内部设置有若干载料层,所述承载构件连接有承载构件驱动机构。
优选的,还包括信息显示装置;
所述信息显示装置设置于所述进料端和所述出料端上方。
优选的,所述信息显示装置包括摄像头和显示器。
优选的,还包括防护罩,所述防护罩套设自动分拣上下料结构;
所述防护罩将所述出料端和所述进料端分割为罩内部分和罩外部分;
所述防护罩设有供所述承载构件进出所述出料端的开口。
优选的,所述承载构件驱动机构和所述运输装置驱动机构为气缸或电机。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造