[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其中，

该加工装置包含：

保持单元，其具有对被加工物进行保持的能够旋转的卡盘工作台；

加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；

加工进给单元，其将该保持单元在X轴方向上进行加工进给；

分度进给单元，其将该加工单元在Y轴方向上进行分度进给；

相机，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄，能够在分度进给方向上移动；以及

控制单元，其对各构成要素进行控制，

该加工进给单元使该保持单元沿着导轨在加工区域与拍摄区域之间移动，在该加工区域，利用该加工单元对被加工物进行加工，在该拍摄区域，在沿X轴方向从该加工区域离开规定的距离的位置利用该相机对被加工物进行拍摄，

该控制单元具有校正量计算部，在将该卡盘工作台进行加工进给并且利用该加工单元在被加工物上制作出直线状的加工痕之后，使该卡盘工作台移动至该拍摄区域而利用该相机对该加工痕进行拍摄，该校正量计算部根据一条该加工痕在加工进给方向上分开的两个点的Y坐标而计算Y轴方向的校正值或该卡盘工作台的校正角度，

当在该拍摄区域中将该卡盘工作台进行加工进给时，在Y方向上对该相机的位置进行校正，或者使该卡盘工作台按照该校正角度旋转。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

该卡盘工作台在对被加工物进行保持的保持面上具有透明部件，

该相机在夹着该透明部件而成为上下的位置具有该加工单元附近的第1相机和比该第1相机远离该加工单元的第2相机，

该控制单元还具有坐标存储部，该坐标存储部将第2相机定位于该第1相机所拍摄的区域而利用X坐标、Y坐标来存储该第1相机与该第2相机的位置偏移，

该控制单元根据存储于该坐标存储部的X坐标、Y坐标而将该第2相机定位于该第1相机所拍摄的区域。

3.根据权利要求2所述的加工装置，其中，

该加工装置还具有显示单元，该显示单元显示该第1相机所拍摄的第1图像和该第2相机所拍摄的第2图像，

在该显示单元上，以使该第1图像和该第2图像中的一方的加工进给方向翻转的状态重叠或并排显示该第1图像和该第2图像。

4.一种加工装置，其中，

该加工装置包含：

保持单元，其具有对被加工物进行保持的能够旋转的卡盘工作台；

加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；

加工进给单元，其将该保持单元在X轴方向上进行加工进给；

分度进给单元，其将该加工单元在Y轴方向上进行分度进给；

相机，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄，能够在Y轴方向上移动；以及

控制单元，其对各构成要素进行控制，

该加工进给单元使该保持单元沿着导轨在加工区域与拍摄区域之间移动，在该加工区域，利用该加工单元对被加工物进行加工，在该拍摄区域，在从该加工区域离开规定的距离的位置利用该相机对被加工物进行拍摄，

该相机具有该加工单元附近的第1相机和比该第1相机远离该加工单元的第2相机，

该控制单元具有校正量计算部，在利用该第1相机对被加工物或该卡盘工作台的直线状的标记进行拍摄并使该卡盘工作台旋转而将该标记的朝向调整成与该加工进给方向平行之后，使该卡盘工作台移动至该拍摄区域而利用该第2相机对该标记进行拍摄，该校正量计算部根据该标记在该加工进给方向上分开的两个点的X坐标、Y坐标而计算Y轴方向的校正值或校正角度，

当在该拍摄区域中将该卡盘工作台进行加工进给而进行拍摄时，根据该校正值而将该相机进行分度进给或使该卡盘工作台旋转。

5.根据权利要求4所述的加工装置，其中，

该卡盘工作台在对被加工物进行保持的保持面上具有透明部件，

该第1相机和该第2相机设置在夹着该透明部件而成为上下的位置，

该控制单元还具有坐标存储部，该坐标存储部将第2相机定位于该第1相机所拍摄的区域而利用X坐标、Y坐标来存储该第1相机与该第2相机的位置偏移，

该控制单元根据存储于该坐标存储部的X坐标、Y坐标而将该第2相机定位于该第1相机所拍摄的区域。

6.根据权利要求5所述的加工装置，其中，

该加工装置还具有显示单元，该显示单元显示该第1相机所拍摄的第1图像和该第2相机所拍摄的第2图像，

在该显示单元上，以使该第1图像和该第2图像中的一方的加工进给方向翻转的状态重叠或并排显示该第1图像和该第2图像。